较高的精度要求, 而其机械制造与电器调试的精度难以满足(共享).doc

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1、长久以来，空间精度补偿技术一育•应用于三坐标测量机上，以保证三坐标测量机作为计量器具而对其较高的精度要求，而其机械制造与电器调试的精度难以满足相关要求。一般二坐标测量机都经过补偿，使其能满足完成高精度测量的需要。随着数控机床技术的不断发展，对机床精度的要求也越来越高。现有机床精度单从机械设计和硬件制造上来考虑，成为制约行业发展的一个普遍作为三坐标测量机行业屮引领测量技术先锋的英国(Rcnishaw)公司，在将H三坐标测最机UCC控制器屮“空间谋差补偿技术”成功M用十多年后，针对FanucxSiemens等数控系统

2、，新近推出“空间误差补偿技术覽以雷尼绍成熟的XL-80激光干涉仪(如图1所示)和QC・20球杆仪作为测试基础，向市场推出RVC-Fanuc和RVC・Siemens两套空间误差修正软件，以配合具备三维空间补偿选项的采用Fanuc或Siemens数控系统的加工屮心、数控镣铳和龙门机床来提高其空间精度。从H前用户实际使用的反馈表明，RVC软件在相关数控机床上使用灵活、简便，效果明显。遇到的瓶颈。将三坐标测量机的空间精度补偿技术引入到数控机床上，可成功地解决数控机床精度再提高的关键问题。图1XL-80激光干涉厦补偿原理1

3、数控机床几何精度常见的21项误差在机床的三轴移动空间屮，共有9个平移误差参数，9个角度误差参数和3个垂直度误差参数，总计21项误差。要将21项误差对机器空间位置的影响完全消除，需要将各项误羌精确地检测出来，并研究开发有关软件，将检测得到的谋斧数据转换为具备相应功能的数控系统所能接受的参数，提供给系统补偿结果，从而提高机床空间精度。在实际情况屮，一台机床的谋差原因会是多种课差的叠加作用的结果，单一误差测量显然无法完全提高机床的几何精度，特别是在整台机器的丁作区域内各方向的精度。2数控系统的新增功能使用空间精度补偿方

4、法对数控机床工作时产生的误差进行修正，如前所述，前期已经在三维测量机行业被证实为是减小机床定位误并的冇效方法2—。忖前，国际上许多知名数控系统厂家，如Siemens和Fanuc等，均在其高端数控系统屮支持这种空间精度补偿的方法（三维误羌补偿或VCS）,使用这种方法可以通过生成机床整个工作空间的误羌参数来全面补偿机床T作时在儿何精度上的偏差，从而对机床现有的空问定位误差进行实时纠正。3国内外发展动向儿年前，当具备空间精度补偿功能的高端数控系统Siemens840Dsl（称VCS）和Fanuc31i（称三维误并补偿）

5、推向市场后，国外生产高端数控机床的厂家就开始研究相关空间精度的测量和误差补偿参数计算方法，并有少量的研究成果公开发表。从现有发表的资料看，有采用激光跟踪测最法，在机床不同部位作为站点测最机床各空间定位点误差，并丿IJ一定数学模型分离误差源；也有采用激光干涉仪配合球杆仪等其他测量工具，按21项误差逐项检测的方法。采用激光干涉仪测试冬项误差源则是目前国内外普遍通行的办法，其乞项测试结果均具备精度可溯源性，可以逐项测量并校核机床精度绘否测最正确、稳定可靠,并能方便地随时校核空间补偿效果。市场上最为普遍应用的英国产XL-

6、80激光干涉仪还具有开放的软件接U,方便用户自行研究开发自己的软件。应用举例如图2所示。宜线轴溟差VCS激活VCS橄活溟差保存于VCS文件中TRAORI錠转轴谋差TRA0R1编程激活996循环溟差数据保存于TRAORI程序中没冇VCS几何溟差核正+SINUMERIK840DSL系统=高精度加工BH2在Siemens840D上采用XL-80激光干涉仪和Q位•*进行空间误差补偿应用举例针对Fanuc3li和Siemens840D开展空间谋差补偿所需软.硬件设备1检测设备XL-80激光干涉仪：分别测量线性位移、直线度、

7、俯仰角、扭摆角等，为RVC软件提供所需计算补偿参数所需误差数据文件。QC20-W球杆仪：测量各轴间的垂直度；并提供机床电器误差与机械误差方向性诊断。RX10转台（可选）：测量并提供冋转工作台的转角精度的测量与补偿。电了水平仪等：测量机床滚摆等参数。2空间谋芜修正软件Fanuc三维空间补偿对应的修正软件是RVC-Fanuc,Siemens对应的修正软件是RVC-SiemenSoRVC软件具备如下三大功能，毎一功能能够为被测机床完成不同项目的补偿：普通线性误差补偿、三维空间误差补偿（线性位移、直线度、角度）和三轴间垂

8、直度误差补偿。3数控系统及对应的空问补偿功能选择附件Fanuc3DCompensation功能和SiemensVCS功能。其屮840Dsi1.3或更新版木，需要加载正确的ELF文件;雷尼绍开发的RVC-Sicmcns适用于“VCSplus"、“VCSA3"和“VCSA5"。进行补偿功能要采取如下儿个步骤：•在机器T作空间范围屮采集测量数据，评估偏并参数并将它们保存为数据文