定向凝固法制备多晶硅铸锭的结构与性能研究.pdf

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1、分类号ＴＧ１１３密级公开ＵＤＣ编号巧女研堯４《隹讼Ａ趣目定向凝因法制备多晶珪铸锭的结构与性能研究ＴｉｔｌｅＴｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＳ化ＵＣ化ｒｅａｎｄＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｎＭｕｌｔｉｃｒｖｓｔａｉｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎｂｙＤｉｒｅｃｔｉｏｎａｌＳｏｌｉｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ学戾（所、中心）材巧科学与工程学巧专化名疏材輯加工工程研巧生姓名巧巧学亏１２０１３００１２０３导师姓名炼巧华胁放巧巧２０１６年５月论文独创性声明及使用授权本论文是作者在导师指导下取得的研究成果。除了文

2、中特别加Ｗ标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，不存在副窃或抄袭行为一。与作者同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。现就论文的使用对云南大学授权如下，：学校有权保留本论文（含电子版）也可＾＾采用影印、缩印或其他复制手段保存论文；学校有权公布论文的全部或部，可Ｗ将论文用于查阅或借阅服务分内容；学校有权向有关机构送交学位论文用于学术规范审查、社会监督或评奖；学校有权将学位论文的全部或部分内容录入有关数据库用于检索服务。（内部或保密的论文在解密后应遵循此规定）、：日期：

3、研巧生签名：掌平导师签名巧鮮摘要摘要一多晶珪是光伏市场制备电池的主要原材料之，桂片质量的好坏关系着太阳能电池的转换效率，改善晶体生长技术来控制形核及生长，进而减少晶体生长过程中的缺陷显得尤为重要，，。为此本文采用定向凝固法生长多晶娃铸锭借助金－ＰＣＤ相显微镜、微波光电导衰减法＾１、四探针电阻率测试仪和电子背散射衍射ＥＢＳＤ等检测手段分别对多晶娃铸锭的微观形貌、电学性能及晶界类型、晶体取向进行了表征分析。结论如下：１、，选取下拉速率为：５ｌｍ／ｓ、ｌＯｎ／ｓ、１５ｉｍ／ｓ、２０ｐｊｎ／ｓ。进行下拉速率实验＾＾＾，研究结果表明

4、：优化后的下拉速率是在此条件下侧壁晶核大部分被底部垂直生长的晶核吞并，整体柱状晶生长明显，晶粒尺寸大且均匀，位错密度较３－２５？Ｘ？低．５７．９８１０ｃｍ，，．１１．７２ｌｓ，：电学性能较优少子寿命：０９＾电阻率值：—￣０．５６０。１．７６ａｃｍ该条件下珪锭的晶面取向从底部至顶部都出现了择优化：０１（）—１１０１１１，，对应的Ｅ３晶界比例也相对要局（）（）这些晶面极易出现李晶晶界，分别为：底部４５．５％，中部３７．４８％，顶部４９．５６％。°２、进行烙炼温度实验，选取烙炼温度为：１４２ＣＴＣ、１４７０Ｃ、１５２（ＴＣ、１５７（ＴＣ、１６

5、２（ＴＣ。研究结果表明：随烙炼温度升高，晶粒轴向生长的现象较为明显，电阻率也在升高，但继续升高温度，只会使娃锭底部发生重融和顶部发生龟裂的结果，°因而１５２０Ｃ条件较适合制备多晶桂铸锭，晶粒呈聚扰型生长，利于排杂，且其晶￣面取向是（１１，易产生重合位置点阵晶界，该条件下的电阻率在〇．６５０．８１化ｃｍ之１）？．１１间，且其少子寿命较高，数值为〇７５．９１５。＾３、进行不同巧巧底部形状实验，选取形状为：锥底、凹底、平底、凸底巧巧。研究结果表明：锥底谢祸在凝固初期能够给娃锭提供较好的形核生长条件，只需要很小的过冷度就能形核并生长，并且这样的有利

6、条件会随着底部锥形结构越明显，更有利于将杂质往边缘富集，使赶锭中间区域位错很少，边缘区域有大量的￣￣位错排，可＾＾有效改善其电学性能，电阻率２０．８１化，．ｌ：０．６（：１１１少子寿命：ｌｌ．パｌｓ。＾￣￣．１２０．７而凸底巧巧条件下，电阻率值最低；０．５３化ｃｍ，少子寿命整体较低：０．３０ａｓ。）实验结果与它的巧巧结构紧密相关，凸底巧巧并不适合多晶珪铸锭生长，整个生长并不稳定。关键词＊：定向凝固；多晶娃；晶体性能；电学性能Ｉ云南大学硕±学位论文ＡｂｓｔｒａｃｔｃｒｓｔａｎｅＳｃｏｎ－ｎｒａｗｍａｔｅｒｌｌｉｉｍｃｉｓ

7、ｏｎｅｏｆｔｈｅｍａａｓｕｓｅｒｓｏａｒＭｕｌｔｉｙｌｉＳｉｉｉｌｄｆｏｌ（）ｃｅｌｓｎｔｈｅｔｏｖｏＵａｃｍａｒｋｅｔ．Ｔｈｅｕａｌｉｔｏｆｓｃｏｎｗａｆｅｒｓｎｆｉｃａｎｔｌａｆｆｅｃｔｓｔｈｅｌｉｐｈｏｉｑｙｉｌｉｉｇｉｙ，ｃｏｎｖｅｒｓｌＴｈｔｔｉｏｎｅｆｉｃｉｅｎｃｏｆｓｏｌａｒｃｅｌｓ．ｅｒｅｆｏｒｅｉｔｓｉｍｏｒｔａｎｏｏｔｉｍｉｚｅ比ｅｃｒｓｔａｌｙ，ｐｐｙｒｏｗｔｈｔｅｃｈｎｉｕｅｔｏｒｅｄｕｃｅ化ｅｄｅｆｅｃｔｆｏｒｍａｔｉｏ打ｄｕｒｉｎｒｏｃｅ