质量改进成果发布资料模板PPT课件.ppt

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1、XG-C06HR芯片表面工艺质量改进1公司概况天津中环新光科技有限公司是天津中环电子信息集团有限公司的全资子公司，公司坐落于天津市西青微电子工业区。公司由中环集团承接天津市科学技术委员会的二十项重大项目之一而成立，于2008年3月底注册。一期工程中环集团投资3000万元人民币，市财政支持1000万人民币；二期工程中环集团投资7000万人民币。公司拥有雄厚的技术实力，技术团队由多名从事LED材料外延的中科院物理研究所外延专家领衔，带领多名博士、硕士进行外延以及芯片技术的研发和生产。公司采用国际先进的美国进口外延炉(MOCV

2、D设备)生产LED外延片。现主要生产红、橙、黄以及黄绿光等各种规格的AlGaInP四元系（2英寸、4英寸）LED外延片和芯片。2主要产品及生产设备3一、团队概况表1小组名称新光精进QC小组成立时间2012年3月本年度注册时间2013年3月小组注册编号XG-QC-130306课题注册时间2013年3月课题注册编号XG-QC-130306课题类型改进型小组人数10人活动时间2013.3-2013.8活动次数2次4姓名职称组内职务组内分工受TQC教育时间于坤鹏助工组长总策划60小时以上张荣勤高工技术顾问技术指导60小时以上白春玲技

3、师组员具体实施50小时以上芮雅强助工组员具体实施50小时以上张金刚助工组员具体实施45小时以上崔娜技师组员具体实施45小时以上李家征助工组员具体实施45小时以上张茜技师组员具体实施40小时以上谢宝红技师组员具体实施40小时以上崔美筠技师组员具体实施40小时以上表25二、XG-C06HR表面工艺改进课题介绍XG-C06HR芯片特征图片XG-C06HR芯片表面工艺问题的发现芯片宏观和微观图片XG-C06HR芯片是中环新光生产的一款特种红光LED芯片。业内这种芯片的特点是产出率高，打线粘合度强和功率均衡等。而支撑这些独有特点的关键

4、之一就是“表面”。表面有划伤或缺失等不良导致产出率低；表面不饱满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱；表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀，从而影响输出光功率的均衡性。由于工艺上的原因，XG-C06HR这款产品制作过程中“表面”的种种缺陷直接降低了该产品的产品质量和产出数量。由此产生了本次QC课题。6表3为了使活动顺利进行，团队制定了周密的活动计划7三、课题的选定过程要改3.1选题及选定理由团队能力分析急迫性分析效果性分析重要性分析分析方法是：10个成员投票选出四个要素中三种问题的关键性。8综合以上四种要素，无论从哪个评价项目

5、来看，改善“表面不良”都是首当其冲的序号问题点现况说明评价项目总分顺位选定队能力急迫性重要性效果性1载片过程损伤在工件流动过程中，发生断裂和残损等情况，影响产出率。2231822表面不良从图形工艺的开始到产品产出，各个环节都对表面有损伤，每一次损伤都会降低芯片的产出数量。7648251★3电性不稳成品测试发现部分产品电性不稳定，电压和亮度有较大的波动性，影响同一款产品的稳定性。123173表49四、现状调查序号不良项目不良率百分比累积百分比1电极不良37400K85%85%2外延缺陷1760K4%89%3发光区损伤2200K

6、5%94%4残留胶体1320K3%97%5电极发黑440K1%98%6其他880K2%100%合计44000K100%2013年2月到3月2000片工件产出芯片表面不良统计概况1K等于1000颗芯片表5要改102013年2月到3月100片工件产出芯片电极不良统计概况要改11五、设定课题改善目标图1改善目标值图表数值以1k为单位，1k等于一千颗12六、要因解析6.1工艺流程简介匀胶显影贴膜合金刻蚀曝光去胶切割镜检图2136.2原因分析电极不良人机环法料净服穿戴不整齐贴膜机划伤电极镜检造成划伤取放片方法有问题匀胶台转速异常导致胶

7、膜不均吹干方法不合理入职培训没做好工件运输方式错误导致电极划伤试剂溶液有质量问题导致过刻蚀光刻胶质量问题导致掩胶脱落气压轴偏离导致粘胶掩模板损伤导致电极损伤温湿度不均衡导致电极脱落治具不干净导致电极污染压紧面板过硬导致曝光不均图3未按照标准作业指导作业146.3要因确认序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间1净服穿戴不整齐1，回放2013年2-3月间的通道录像，是否在进入车间时已经穿戴整齐；2，回放2013年2-3月间的车间录像，员工是否穿着整洁，戴口罩，戴手套。进入车间钱穿戴整齐，进入工艺间工作时戴口罩和手套，人

8、体裸露面积小于0.025㎡于坤鹏2013年4月2日2入职培训没做好1，调查各相关站别员工入职培训记录和上岗前测评成绩；2，重新测评相关站别员工是否符合上岗条件。1，相关岗位人员入职前进行相关培训并且测评成绩合格；2，实时测评成绩合格于坤鹏2013年4月4日3未按照标准作业指导作业对照各站《