SEM操作规程.doc

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1、JSM-7800F扫描电镜操作规程1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！！2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！3、装样品前必须确认高压处于关闭状态。4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口的ExchangePosition按钮，使样品交换室控制面板EXCHPOSN灯点亮，并确认样品台处于样品交换的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。5、按下VENT按钮对

2、Exchangechamber放气，直至VENT常亮，表示样品交换室处于大气状态。6、松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。7、完全关闭样品交换室门，扣好锁扣。 8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到要求时，EVAC常亮。9、手持样品交换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder完全送进交换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。10、在SEM应用程序软件界面正确选择所

3、使用Holder的类型，输入样品高度值，点击OK确认。11、输入Z值10mm。11、查看样品室真空度，确认真空度小于5.0×10-4Pa时才可开始进行图像操作。12、观察样品，获取图像。（1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。（2）如果有多个样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选择要观察的样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。（3）确认ScanningMode在QuickView状态，寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率，转动FOCUS的旋钮进行聚焦，X、Y散光像差校正旋钮进行像散调整，调整亮度与对比度（可按ACB自动调整或手动调整），直至样品表面特征的图像清

4、晰为止（低倍率时，利用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观察。a）如果聚焦时出现图像是模糊的，需要进行电子束对中调整。b）按键盘上RDC IMAGE键，打开调整窗口，按键盘上WOBB键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上X、Y调整旋钮使图像停止摆动（X方向摆动调整X旋钮，Y方向摆动调整Y旋钮）。c）关闭WOBB键，此时STIG键自动亮，分别旋转键盘上X、Y调整旋钮将图像调整清晰。d）继续放大倍数，转动FOCUS旋钮进行聚焦，如图像不清晰，重复c步直到将图像调整清晰。e）如果图像已经调整好，，按键盘上“RDC IMAGE”键关闭调整窗口，进行全屏显示。（4）图像聚焦像

5、散调整完毕后，按下FINE VIEW键及FREEZE键扫描图像并定格，也可按下PHOTO键获取最终图像，输入样品名称，选择文件类型和文件保存位置，点击“Save”进行保存。（5）按“FREEZE”键取消锁定，按“QUICK VIEW”进行快速扫描，为下一次调整图像做好准备。13、背散射（BEIdetector）观察1）点击ExchangePosition，EXCHPOSN灯同步亮，样品台回到样品交换的初始位置。2）点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态！3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEIdetector自动伸入样品室。4）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。5）找

6、好要分析的样品位置，调整好倍率，聚焦及像散。6）在图像显示区域选择图像信号为BEC7）按Fineview2获取图像，按下PHOTO键获取最终图像，选择“Save”模式进行保存。。8）使用完成后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表示BEIdetector退回）。14、结束观察：1）将放大倍率调至最低倍。2）点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态！2）点击软件中Specimen窗口的ExchangePosition按钮，EXCHPOSN灯同步亮，样品台复位，处于样品交换的初始位置。3）利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。4）按下VENT键放气，直至VENT常亮。5）

7、打开样品交换室，按箭头方向取出样品Holder及样品，并检查样品交换室是否正常。6）关闭样品交换室并按EVAC抽真空，待EVAC灯不再闪动后，观察结束。注意事项1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并确保样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，造成镜头碰撞样品台。2、注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。3、拉出拉杆时，切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起，否则样品