镀膜基础知识讲义.ppt

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1、光學鍍膜基礎知識理論基礎各类膜系硬體系統品質維護一.光學薄膜理论基础光學薄膜基本上是藉由干涉作用而達到效果的。是在學元件上或獨立的基板上鍍上一層或多層的介電質膜或金屬膜或介電質膜與金屬膜組成的膜堆來改變光波傳導的特性。因此波在薄膜中行進才會發生透射、反射、吸收、散射、相位偏移等變化。光波經過薄膜後在光譜上會起變化，因此這些變化會使得學薄膜至少具有下列功能：1.反射的提高或穿透的降低2.反射的降低或穿透的提高3.雙色、偏極光的分光作用4.光譜帶通或截止等濾光作用5.輻射器之光通量調變6.光電資訊的儲存及輸入1.在膜層中，波的干涉結果，如R%、T%都是與膜質

2、本身和兩邊界邊的折射率有關系，相位變化也是如此。2.由于干涉作用造成的反射率有時升高，有時反而降低，都要視膜层的折射率高於或低於基板折射率而定。若Nf>Ns，則反射率會提高(Ns为基底)Nf

3、波通之滤光作用相位改变液晶显示功能之影显色光显示、色光反射、伪钞及有价证券之防止光波的引导、光开关及积体光路一.光學薄膜理论基础單層減反射膜二.各种膜係介紹AR-Coating輔正膜IR膜IR膜高反膜三.硬体系统鍍膜機臺內部結構離子源助鍍鍍膜機類型鍍膜機构造五大系統排氣系統控制系統蒸鍍系統監控系統輔助系統排氣系統工作原理通過三個泵浦(RP,MP,DP)的工作,從而達到鍍膜所需的真空條件[1大氣壓=760torr=1.013*105pa]A)3.0*10-5TORRB)4.0*10-4pa泵浦及真空計圖RPMPDP真空計控制系統工作原理通過自動化程式來控

4、製所有泵浦和閥門的正常運轉,從而確保鍍膜機的效率的品質鍍膜機控制柜主要通過PLC控制電路自動完成鍍膜機控制界面機器觸摸界面蒸鍍系統工作原理鍍膜藥材在真空中,通過電子槍發出的電子束或鎢片的電流使其熔解而蒸發后,而沉積在基底(鏡片)的表面蒸鍍圖片電子槍蒸鍍裝置鎢片蒸鍍裝置蒸鍍所用藥材MGF2H4TiO2Ti3O5AL2O3SIO2金屬AL,Ag,Cr……NB2O5Ta2O5監控系統工作原理通過專用的軟體來縮小設計鍍膜厚度和實際鍍膜厚度之間的差值監控控制系統示意圖LP1300EBA透過式光學監控LP900EBA石英膜厚監控石英膜厚儀膜厚系統控制界面1蒸鍍中畫面

5、!監控系統控制界面2蒸鍍完成畫面,全部通過自動化程式控制!監控系統的種類透過式(37臺)反射式(4臺)時間(3臺)目視/石英監控(7臺)輔助系統工作原理1.提升機臺的抽氣性能2.便於人員操作3.提高機臺的精度4.分析異常產生的原因輔助設備圖片冰水機POLYCOLD叉車冷卻水鍍膜三要素1.真空度(3.0*10-5torr)2.抽氣時間(45min)3.溫度(300℃)當以上三個條件同時滿足時,自動化程式會自動運行…保養的目的讓鍍膜機能長時間地正常運轉降低故障時間提高機臺精度,穩定品質加快抽氣速度,提升機臺利用率日常保養項目及周期電子槍(坩鍋)部位的吸塵--

6、-1次/伞離子槍部位的清潔---1次/伞遮板的清潔---3次/班燈絲的更換---1次/班綠紙的更換---2次/班機臺外表的擦拭---2次/班定期保養項目及周期泵浦和管路的保養---1次/年油類的更換(或添加)---1次/年密封環的更換---1次/年加熱絲的噴砂處理---1次/年真空桶的打磨---1次/3天內壁板的噴砂處理---1次/3天真空計的校正---1次/月投光源燈泡的更換---1次/15天