【精品】洁净室规范对设备材料的要求.doc

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1、洁净室规范对设备材料的要求中国电子工程设计院陈霖新☆TheRequrimentOfCleanroomCodeforEquipmentandMaterialsByCHENGLinsing**ChinaElectronicsEngineeringDesignInstitute☆陈霖新，男，1937年2月生，高级工程师，“工厂动力”《洁净厂房设计与施工》主编，100840北京307信箱(010)68207517收稿日期：2003-10-281洁净室建造中设备材料的重要性设备材料的重耍性表现为：•实现洁净度、满足

2、产品耍求的主要依据；•确保安全、可靠运行的条件；•实现降低建造费用、经济运行的前提。合理、准确选用洁净室建造用设备、材料是工程设计的重耍T作。2洁净室设备材料分类及有关要求(1)产品生产设备•选择依据是产品品种、规模及其生产工艺等；•布置在洁净室中的生产设备应表面平整、光洁、不易脱落污染物；•局部净化与生产设备；•隔禺装置；•微环境。(2)人净、物净设施%1空气吹淋室•高速洁净气流吹落、清除人员表面附着的微粒；•设在洁净室人员入口处，并与洁净服更衣室相邻；•单人吹淋室最大班人数每30人设一台；•5级(1(

3、)()级)以上的垂直单向流洁净室，宜设气闸室；•洁净区(室)人员超过5人时，吹淋室应设旁通门，各类洁净室设置吹淋室的做法各不相同，实践说明吹淋室有人净效果，并具有气闸作用、警示作用。%1气闸室、缓冲间•垂直单向流洁净室人口;•阻隔室外或邻室的污染气流、压差控制；•洁净室（区）与非洁净室（区）Z间必须设；•洁净室（区）的物料出人口设置，并配置清洁措施；•物料传递用洁净室专用传递窗。%1洁净T作服•选材、式样及穿戴方式丿应与生产操作和洁净度等级耍求适丿•各类、各等级的洁净服不得混用，并应分别清洗、整理；•质地

4、光滑、不产生静电、不脱落纤维和颗粒；•无菌洁净服必须包盖全部头发、胡须及脚部，并能滞留人体脱落物;•洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级（10万级）；•洁净服更衣室的空气洁净度等级宜按低于相邻洁净室（区）1〜2级。（3）装饰材料•是达到空气洁净度的条件Z-；•确保洁净室安全、可靠运行；•选用符合消防、环保耍求的材质；•符合具体工程设计的构造；•气密性良好，温湿度变化变形小；•便于清洁或清洗；•抗化学/微生物的侵蚀；。•不产尘、积尘，不霉变等。%1内墙壁、顶棚•表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光，便丁清

5、洁或清洗；•少或无凹凸面，无裂缝、接口严密、无颗粒脱落；•墙壁与地面的交界处宜成弧形或采取其他措施，减少微粒积聚；•踢脚不应突岀墙面；•构造和施T缝隙，均应可靠的气密；•色彩宜淡雅柔和，光反射系数宜为0.6〜0.8；•严于8级（10万级）的洁净室，宜采用轻质壁板结构；•应为不燃烧体（包括夹芯材料），且不得采用有机复合材料；•顶棚耐火极限不应低T0.4h,疏散走廊顶棚不应低丁l.Oho%1抹灰、涂料•当内墙壁、顶棚采用抹灰时，应为高级抹灰，养护时间应充分；•面层涂料应为难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑；•涂料

6、不易吸水变质发焉；•不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料；•不得采用可持续挥发有机化学物质的材料。%1门、窗•当洁净室(区)设外窗时，M采用双层固定窗，并应有良好气密性；•构造和施工缝隙，均应采取可靠的气密措施；•窗宜与墙面齐平，不宜设窗台；•门应避免水平面，表面无突纹，不用门坎；•门丿应减少五金部件的磨损、易丁清洁；•洁净区与非洁净区或与室外相通的安全疏散门应加闭门器；•安全疏散门不应采用卅门、转门、狈I」拉门、卷帘门和电控自动门。%1地而•应满足产品生产工艺要求；•应平整、耐磨、易清洗、防滑

7、；•不易积聚静电，避免眩光；•不开裂；•地而热层宜配筋，潮湿地区应防潮；•格栅地板、多孔地板。(4)空气净化系统设备、材料%1空气净化设备的能力确定与下列因索有关：•空气洁净度等级、气流流型；•产品生产特点；•净化空调系统的划分；•拟采用的设备特性。%1气流流型与送风量•气流流型应满足空气洁净度等级要求；•工作区的气流速度应满足产品生产工艺要求；•工作区的气流分布应均匀；•洁净室送风量应取下列三项中的最大值；■为达空气洁净度等级的洁净送风量；■按热湿负荷计算的送风量；■洁净室所需新鲜空气量。%1空气过滤器

8、•根据空气洁净度等级合理选用；•处理风量应小丁•或等丁•额定风量；•三阶段空气过滤：室外空气的预过滤（粗、中、化学法等）；空气处理装萱内空气过滤（中高、亚高、化学法等）；最终过滤（高、超高）。•同一洁净室（区）内的“高效'啲阻力、效率应相近；•“高效"安装前应进行检漏（严于5级），安装应严密，易于更换；•洁净室和净化空调系统清洁，并连续试运转后，才能安装“高效表1气流流烈和送风量（静态）空气洁净度等级气流流型平均风速（m/s）