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《锆铝吸气泵在高温钼丝炉上的应用.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.1980.06.005错铝吸气泵在高温铝丝炉上的应用冶金部有色金属研究院马元上海真空泵厂陆明岭力民,近年来角铬铝消气剂带制成的吸气泵,问世了78年冶金部有色金属研究院试制成,、功了中300口径对氮抽速750升/秒对氢抽速4000。升/秒的金属系统铬铝吸气泵这种泵有没有实用价值?能否应用于稀有冶金方面的真空高温炉上?这是非常令人感兴趣的问。题为了解决这个问题冶金部有色研究院和上海真空泵厂共同研制了一台配用错铝吸气泵。的超高真空钥丝护上海真空泵厂曾生产一种超高真空两用,,炉技术指标是最高工作温度1200℃
2、有效加热区中250x30Omm,极限真空度为sx二二~.。10托它的真空系统是采用钦离子泵和升。华泵为真空获得手段炉子价格在9万元左。图1超高真空铂丝炉示意图右我们基本上采用了该真空炉的炉体部,。。,份但改变了抽气机组大胆地采用了自己发展成为错铝吸气泵目前国内有几个单,研制的中300GSP一五型错铝吸气泵和K一位正在研制这种泵准备用于可控热核反应。。即。扩散泵联合抽气机组(见图i)在靠装置和小型清洁超高真空系统中而在铝丝,近错铝吸气泵和扩散泵冷阱处分别装有两只炉这样恶劣工作环境会放出各种各样气体。中20。的超高真空插板阀这两只阀采用了同的高温炉中是否也能
3、获得令人满意的真空度。。、确实是令人担心的问题我们仔细地分析了一三通形式阀体分别与炉体错铝泵和扩。。散泵连接组成一个整体这种情况结构紧扩散泵和错铝泵的抽气机理扩散泵是靠油,。,。凑通导能力大实践证明采用一级扩散分子压缩气体而将气体分子排除系统之外,泵和错铝吸气泵的联合机组极限真空也达到它对隋性气体也有一定的抽气能力但对氢。x。,了51-0托的水平与钦泵机组获得的真空的抽速较小而错铝泵对活性气体有较大的,。,。度相当但价格节省了3万元左右抽除作用尤其是吸氢的能力很好这两种,,,错铝泵应用于高温炉上这在国内是第泵相辅相成互为补充分别对铂丝护加热。,。一次成功
4、的实验众所周知错铝一16合金后放出的各种不同气体加以抽除这样就提。,多年来一直作为消气剂应用于电子工业上高了真空度改善了炉内物料烧结或退火条。、由于它所具有独特的抽气特性近年来才逐步,件在调试过程中证明单独启动某一种一28一。。。泵都不可能获得超高真空只有两种泵同时膛内的实际温度指示数值偏低以致跑温,。,,开动才能获得超高真空过高将电极烧熔有时会引起炉内件全部。这台带有错铝泵的超高真空铂丝炉测试报废,结果如下:钎对这种情况我们将热电偶丝通过密.:x一。。冷态极限真空冷阱通水47l0托扩封接头直接插入炉膛(图3)为了防止沾污在-冷阱通液氮2.2x1o”托,
5、i:“7,密封接头热态极限真空1200℃不低于10托:850℃;错铝泵激活温度。:错铝泵工作温度380℃,另外在调试过程中我们还对炉温的测。定方式作了改进原铂丝炉设计是在中20的不锈钢套管内插入带瓷管的wRLB一110型。铂锗一铂热电偶我们发现这种测温方式,(图2)滞后现象严重且不能真实反映炉图3改进后侧温方式碑户护盏热偶丝外罩上了一个o.lmm厚的钮管。这样。,,。京赫决了测温问题测验结果改进后标示的螃幕1400℃所用的功率与原测1200℃所用功率相。等这说明热电偶安装的方式对真空高温炉炉温控制影响很大。-采用错铝吸气泵排气的超高真空铝丝护,{的研制成
6、功为铬铝吸气泵的应用提供了一。个实例我们认为存在的问题是对错铝吸气图2原漪退方式,泵的寿命问题应作进一步测试以便进一步。扩大它的使用范围’(上接第37页),,由于我们工作做的很少水平有限故。、气但要对口以上,。分子泵入气所有元件管本文有不足和错误之处望读者批评指正。道进行较长时间(24~48小时)的烘烤除气,今考文献(2)由于分子泵抽速大并在高真空,.,,1电子管技术1978年第四期。和超高真空中抽速基本恒定故可合理地缩52页.,,。,2真空技术报导1975年增刊95页O型短排气时间如12小时对返波管的排气3.WD一73型动平衡机说明书。时间巳基本满足需
7、要,这不仅优于有油系统4.真空技术报导,1,75年增刊石13页`,。排气也不次于无油系统的排气效果一29一
