CT厂进气过滤方式分析.ppt

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1、CT廠進氣過濾方式分析報告單位:Y60報告人:葉日恆報告內容:一.問題點二.理念政策三.期望四.差異分析及改善措施提出4.1進氣各種處理方式的評估4.2活性碳過濾處理的設計原則4.3CT廠活性碳過濾現況設計說明表4.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估1.1問題現象:1.目前大園廠生產的過程中,置放的holdingtime在4小時內即發生盲孔孔底發黑或發藍,造成盲孔浮離的現象。2.空氣過濾處理之效率及需求無法量化。1.2經過分析的問題點:1.初步判定外氣含有化學污染物質,如下表:如何維持板子置放時間在8小時而

2、無品質異常？一.問題點根據以上量測值懷疑空氣中的化學污染物質即為造成板子盲孔孔底發黑或發藍的現象。若參考waferfabcleanroomairqualitycriteria:*TotalHydrocarbons(THC):<100ppb;*NOX:<0.5ppb;*SOX:<0.5ppb來作為過濾基準,則必須有97.5%的去除效率,空氣處理成本將相當可觀。假設IC載板不需如此高的情況下,去除效率應為多少才能符合我們的生產環境條件?2.配合CT廠現場品質異常而緊急改善所採用的過濾方式,目前一時無法量化及制定出

3、更換週期。二.理念政策:廠內的空氣品質需合乎作業製程品質、人員健康的需求。三.期望(未來是什麼):3.1藉由比較各種過濾方式及設計,取得最適宜的方法來改善空氣品質,使板子在8小時之holdingtime內仍不致發生盲孔孔底有發黑、發藍的情形。3.2藉由長期(3個月)來觀察:以懸掛之測試裸銅片(stationmonitor)之氧化程度來取代過濾效率的量化指標。四.差異分析及改善措施提出(Gap&RootCause&Solution)a.期望與問題點的差異(Gap)a.1對於含有化學污染物之進氣,沒有建立經濟有效

4、的處理方式。a.2對於濾材之效率未作量化以及更換週期的制定沒有明確的指標。b.差異分析(RootCause)b.1過去對廠房進氣,僅考慮過濾塵埃顆粒大小之十萬級控制,而空氣中的一些化學污染物,並未作處理。b.2廠內作業環境空氣品質需求基準未能明確;並對濾材選用的knowledge仍嫌不足。c.改善措施提出(Solution)c.1進氣各種處理方式的評估及活性碳過濾處理的設計原則。c.2過濾效果評估實驗計劃(保養頻率及標準化制定)。4.1進氣各種處理方式的評估4.24.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估98A

5、10無塵室進氣顆粒狀活性碳過濾安裝位置(目前作法)9(在進氣空調箱之前)風速:0.3~0.5m/s壓損:0.5inAq軟管FANFILTERUNIT送風量:17CMM活性碳濾材出風速:0.4M/S位置:WIP區天花板進氣口(在進氣空調箱之後)天花板初級濾網安裝位置(目前作法)1089框88作法二:在進氣空調箱內部的活性碳過濾(安裝在濾袋之前)兩道活性碳濾網:(厚度各為1in)vp7787進氣空調箱說明圖(含有AirWasher)7