真空泵常见问题.ppt

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1、真空泵常见问题扩散泵.罗茨泵.旋片泵.滑阀泵.；现在我们对相关问题进行讨论。扩散泵影响扩散泵性能的因素1.扩散泵油蒸气的反流扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因：*泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示）*喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如图2所示）*一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示）*喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示*室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所示)反流示意图2.气体分子的反扩散在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入高真空端，特别是某些质量较轻的气体，如氢.氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散最大，可达10-3mg/h，氮的反扩散较小，约为10-7mg/h.3

2、.扩散泵油的裂化分解扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳定性及耐氧化能力都较差，在室温下的饱和蒸气压力10-5pa~10-7pa.另一种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较好，室温下的饱和蒸气压力10-6pa~10-8pa.在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温.金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体(H2.CH4.C2H6等)。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响。4.真空泵的清洁度清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵极限真空。提高油扩散泵极限真空的方法1.

3、扩散泵结构设计上的改进改进扩散泵的结构，如加分流装置;合理的分配锅炉的加热功率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角设计；在一级导流管中加装加热器进行气象加热，以增加蒸汽流速度减少真气流的散射。上述措施也可减少油的裂化，反流，提高扩散泵的极限真空。减少油蒸气的反流1.加挡油帽在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使反油量降低半个到两个数量级。2.障板使用水冷或低温介质冷却的各种挡板，可使反油量大大降低。。3.冷阱使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；1.两个油分子之间的碰撞；2.油分子和气体分子的多次碰撞；3.没被捕集的油分子反弹到高

4、真空的区域中；4.室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵系统采用液态冷阱后可获得10-8pa~10-9pa的极限真空4.吸附阱扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得10-8~10-9真空度。这种阱有如下缺点：1.吸附剂易粉末化；2.吸附剂要在活化；3.需经常更换吸附剂，操作不便。5.钛升华阱扩散泵与真空室之间装上用液氮冷却的钛升华阱，即可以消除有机物真气对系统的污染，又能降低CO.CO2和H2阀门扩散泵的返流，在泵启动和停止后的一段时间内有两个最大峰值，泵运转时可利用阀门的关闭避开这两个最大返油区。减少气体的反扩散反扩散过去的气体的分压Pf和扩散泵前级排气口处该气体

5、的分压Pj成正比，即Pf=rPj。降低前级压力Pj和压缩比r可以降低Pj。扩散泵的前级再串接一台扩散泵可以降低前级气体分压Pj。采用多级泵（目前多采用四级泵代替原来的三级泵），则可以降低压缩比r，使返扩散减少。五.用扩散泵获得高真空的方法1.选用性能好的扩散泵油2.采用合理的烘烤技术3增加冷阱装置，防止泵油返流和迁移4.减少被抽气体的反扩散扩散泵结构示意图滑阀泵及原理其示意图滑阀泵故障现象及排除方法故障现象产生原因排除方法真空度不高1.油被污染2.密封装置漏气3.油管接头漏气4.排气阀片损坏5.排气阀弹簧断裂6.个封面漏气7.泵内零件有幢击.卡紧.变形8.油路阻塞9.吸入气体温度过高10.泵

6、油量不足11.油路组件的小油封漏气1.打开气镇阀运转1~2小时可恢复泵的极限压力或调换所有新油2.修理或更换密封装置3.旋紧螺母4.换新阀片5.换新弹簧6.旋紧螺钉7.修理油阀.导轨.清洗所有零件8.清洗滤油器滤网及油路9.冷却至常温10.加油11.修理或更换小邮箱内橡皮版运转故障1.电机负载过大或保险丝烧断2.缺乏润滑油3.外物夹住4.振动很大5.油杯喷油1.找出负荷过大或烧断原因，调换保险丝。2.畅通油路，拆洗泵内零件，加真空油3.清除外面杂物4.加固地基底座5.油封反向，按结构图从新安装油封运行事故1.轴承发热2.排气阀和油管发热1.稍松皮带或检查油路是否阻塞，冷却水是否足够，泵的轴承

7、润滑子是否适合2.增加冷却水量泵运转有异常噪声1.异物落入泵内2.泵零件松动或损坏1.拆开检查并清除2.检查调整或更换零件旋片泵及原理其示意图故障及其排除方法.极限压力与极限全压力不好的原因判断和消除方法1.新泵.泵口检测，全压力不好，旋去加油赛，无明显漏气声，可能是因存放日久和不当，有水气等进入泵内，可密闭泵口开气镇阀2--4小时，应有所回升，或更换新油，可更显著。2.无漏气声，开气镇阀及换油无效，应检查阀