《PECVD操作手册》word版.doc

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1、操作手册LPS1等离子体发射源生产商：Roth&RauAGGewerbering3D-09337Hohenstein-ErnstthalOTWuestenbrandGermany目录1安全指示……………………………………………………………………………………………31.1介绍……………………………………………………………………………………………31.2安全标志………………………………………………………………………………………32描述………………………………………………………………………………………

2、…………42.1概要……………………………………………………………………………………………42.2线型微波等离子体发射源类型……………………………………………………………52.3线型微波等离子体的产生………………………………………………………………………63技术数据……………………………………………………………………………………………93.1概要……………………………………………………………………………………………93.2性能……………………………………………………………………………………………

3、103.3电气数据………………………………………………………………………………………103.4连接……………………………………………………………………………………………103.4.1气体连接…………………………………………………………………………………103.4.2水路连接…………………………………………………………………………………104组装…………………………………………………………………………………………………115设备维护………………………………………………………………………………………

4、……125.1石英管的拆卸…………………………………………………………………………………135.2沉积罩的拆卸…………………………………………………………………………………155.3等离子体发射源的清洗………………………………………………………………………165.4沉积罩的替换…………………………………………………………………………………175.5玻璃石英管的替换……………………………………………………………………………175.6安全性能……………………………………………………………………………

5、…………216备配件…………………………………………………………………………………………………226.1介绍……………………………………………………………………………………………226.2备配件清单………………………………………………………………………………………227推荐备配件……………………………………………………………………………………………27配图目录图1：线型微波的图解和部件图……………………………………………………………………………4图2：线型微波等离子体发射源的工作原理………………

6、……………………………………………5图3：配备一个石英管的LPS1型微波等离子体发射源的典型断面图…………………………………5图4：线型微波等离子体产生的原理………………………………………………………………………6图5：以时间为函数的典型的脉冲微波…………………………………………………………………7图6：覆膜均匀性和沉积率的独立控制效果示意图………………………………………………………8图7：SiNA型LPS1等离子体发射源的尺寸图……………………………………………………………9图8：SiNA型L

7、PS1线型等离子体发射源…………………………………………………………………11图9：SiNA系统中整合的小型微波发射头（MWhead）……………………………………………………13图10：在工作位置和维护位置配有铜质天线的小型微波发射头………………………………………13图11：完整的等离子体发射源（左图）和没有横向沉积罩的等离子体发射源（右图）………………14图12：卡口锁定机械装置…………………………………………………………………………………14图13：设备维护位置时的卡口锁定机械装置……………

8、………………………………………………14图14：防护罩固定器专用的特殊工具（左图）设备维护和工艺操作时的位置………………………15图15：关闭的氨气吹淋喷头孔（左图）部分关闭的硅烷气体吹淋喷头孔（右图）……………………16图16：工艺反应仓仓壁上的微波发射头法兰接口………………………………………………………16图17：所有装配部件的正确顺序………………………………………………………………………17图18：铝质罩帽中的装配部件……………………………………………………………………………18图19：将