GBT XXXXXXXXX 红外硫系光学薄膜折射率测试方法(征求意见稿).doc

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1、GBTXXXXXXXXX红外硫系光学薄膜折射率测试方法(征求意见稿)　　请注意本文件的某些内容可能涉及专利。　　本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。　　本标准由中国兵器工业集团公司。　　本标准由全国光学和光子学标准化技术委员会（TC103）归口。　　本标准起草单位宁波大学、湖北新华光信息材料有限公司、中国建材检验认证集团股份有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国建筑材料科学研究总院。　　本标准主要起草人戴世勋、宋宝安、沈祥、徐光以、胡向平、唐雪琼、张龙、祖成奎。　　本标准为首次发布。　　GB/TXXX

2、XX—XXXXIII引言硫系薄膜具有较小的折射率温度系数、优良的红外透过性能、较低的双光子吸收系数、较高的三阶非线性极化率以及良好的光敏性，已广泛应用于超快全光开关器件、静电复印/平板印刷的感光组件、红外传感、红外热成像、全息存储、能量传输、红外光波导、相变存储等领域。　　硫系薄膜是红外光学器件微型化与集成化的重要载体，已被誉为制备红外多功能光子器件的理想材料，它的折射率数据对于红外光学器件的设计与制备至关重要。　　为了适应红外硫系薄膜科研、生产的发展需求，促成各相关方协调一致，并促进贸易和交流，有必要制定红外硫系光

3、学薄膜折射率测试方法的国家标准。　　本标准的测试项目涉及红外硫系薄膜的厚度、粗糙度、表面形貌、透射光谱，测试方法涉及折射率获取方法，可适用于大多数应用场合。　　GB/TXXXXX—XXXX1红外硫系光学薄膜折射率测试方法1范围本标准规定了红外硫系光学薄膜相关的术语和定义、测试通用要求、测试数据和折射率获取方法。　　本标准适用于红外硫系光学薄膜，可推广应用于透明光学薄膜。　　2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。　　凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。　　凡是不注日期的引用文件，其最新版本

4、（包括所有的修改单）适用于本文件。　　GB/T1.1-xx标准化工作导则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。　　薄膜厚度filmthickness红外硫系光学薄膜样品的厚度。　　薄膜透过率filmtransmittance红外硫系薄膜在近红外、中红外波段的透过率，通常用透过样品前后光通量的百分比表征。　　薄膜粗糙度filmroughness红外硫系薄膜表面上具有的较小间距和微小峰谷所组成的微观几何形状特征。　　在取样长度内，沿测量方向的轮廓线上高度数据的标准差。　　厚度均匀性thicknessuniformity

5、测量的厚度与平均厚度的实际变化的算术平均值。　　折射率均匀性Refractiveindexuniformity测量的折射率与平均折射率的实际变化的算术平均值。　　GB/TXXXXX—XXXX2切点法tangencypointmethod（简称TPM）基于均匀薄膜透射光谱确定薄膜折射率的一种方法。　　区域逼近法regionalapproachmethod（简称RAM）基于均匀薄膜透射光谱确定薄膜任一波长（或波数）处折射率的方法。　　平移匹配法translationmatchingmethod（简称TMM）基于非均匀薄膜

6、透射光谱确定薄膜折射率的一种方法。　　修正因子correctionfactor由于衍射导致的透射率降低量。　　均匀薄膜homogeneousfilm折射率的非均匀性或厚度的非均匀性小于平均折射率和厚度的0.5%。　　非均匀薄膜inhomogeneousfilm折射率的非均匀性或厚度的非均匀性大于平均折射率和厚度的0.5%。　　周期性调制periodicmodulation薄膜的折射率或者薄膜的表面高度出现周期性变化。　　4通用要求4.1环境温度测试的温度应在20℃±5℃范围之内，不同环境温度下测试折射率大小会有所不同

7、。　　4.2相对湿度测试的相对湿度应不大于70%。　　4.3样品待测薄膜是透明的，可测量到其透射光谱。　　待测薄膜的厚度应该保持在1-2?m之间，薄膜透射光谱不少于6个峰谷个数。　　透明衬底厚度比薄膜厚度大2个数量级以上。　　5测试数据GB/TXXXXX—XXXX35.1厚度5.1.1薄膜厚度5.1.1.1仪器设备探针表面轮廓仪，垂直分辨率优于1nm。　　5.1.1.2试验步骤a)测试前，用洗耳球吹扫样品表面，把灰尘等东西从样品表面吹扫干净，保证样品的洁净度；吹扫时，洗耳球的尖端不能接触样品表面，防止破坏样品。　　b

8、)在薄膜与衬底交界的边缘处，垂直于边缘线方向测量三次以上。　　5.1.1.3实验数据处理薄膜厚度取衬底平均高度与薄膜平均高度的差。　　将多次测量得到的厚度取平均值，以纳米（nm）为单位，结果表示到小数点后一位。　　5.1.2厚度均匀性5.1.2.1仪器设备探针表面轮廓仪，垂直分辨率优于1nm。　　5.1.2.2试验步骤a)测试前，用洗耳球吹扫样