正文描述:《雷妮绍激光干涉仪的使用.ppt》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、雷尼绍激光干涉仪的使用设备部:杜康第一步:激光干涉仪的安装三脚架的固定;激光头的安装与固定;补偿器XC(包括环境空气温度传感器和工作台表面温度传感器)的安装与固定;激光头和补偿器通过数据线与计算机的连接;激光头电源线的连接;(现场演示)按下激光头电源按钮,预热5~6分钟,直到指示灯变为红色表示预热完成;找到“开始RenishawLaserXL线性测长”,单击打开雷尼绍测量软件。机床预热:机床各轴在匀速状态下运转10分钟左右。第二步:激光光路对正(见附图)掌握干涉镜和反射镜的安装方法(根据测量轴的不同,安装方法有
2、所不同,注意观察箭头所指方向,激光从箭头尾部射入);将机床各轴原点复归;微调方式下,调整干涉镜和反射镜的位置,使两者靠近,目测能够尽量上下左右对齐;移动三脚架使激光头的光源穿过干涉镜,此时能够看到2个光点;微调方式下,调整机床侧使2个光点重合;转动激光头,观察激光头上方的LED灯点亮情况(5个全亮最好)微调方式下,将测量轴远离干涉镜,直到LED灯只剩一个时停止移动,此时调整激光头的各个微调旋钮等,直到将光路再次调整到5个LED灯全亮;微调方式下,将测量轴再次远离干涉镜,重复第7)步,直到测量终点处,此时,反向摇回来
3、,观察LED灯,保证到起点处均保持5个LED灯全亮,若不能满足,则继续调整至全亮。第三步:机床程序编制及参数设定编制测量运行程序(根据测量轴和测量行程修改相应程序);坐标系中,G54中将对应轴清0;模式打到“程序运行”,倍率打至0%;第四步:软件设置采集来自环境空气温度值、物体表面温度值;物体膨胀效应补偿:不带光栅尺的为11.7/带光栅尺的为8.0;点击软件最左边第一个工具,进入设置对话框;采集数据设定第一项:设置第一定位点,最终定位点,间距值,完成后进入下一项;采集数据设定第二项:定位方式选择“线性定位方式”,测
4、量次数一般设为2,选择方向为“双向”,其他不变,点击进入下一项采集数据设定第三项,填写“机器名称”、“轴”等信息;采集数据设定第四项:越程量大小改为:0.0000mm其他保持不变,点击完成设定。第五步:执行测量程序打开倍率旋钮开关,将程序中第一步的1mm余量走完后,再次关闭倍率旋钮;软件清0(注意正负号),打开倍率旋钮,即可自动执行程序采集测量数据,绘制测量曲线;等待程序执行完毕后,按“回车”键结束,机床侧按“RESET”键结束程序执行。第六步:分析测量数据点击“分析数据”,进入数据分析窗口;点击“分析数据”选择一
5、个标准,点击进行曲线分析机床的各项指标;若检测下来机床的精度需要提高,则可按照当前检测结果进行补偿,点击“误差补偿图表”;弹出误差补偿表格窗口:图表类型选择“均值补偿”、补偿分辨率设为1、正负符号转换选择“补偿值”、参考点位置为0.0000mm、补偿起点和补偿终点依情况而定、补偿间隔为20.0000mm,点击“绘制误差补偿图表”。按照均值补偿值对机床进行补偿,若发现补偿值中有数据大于8,则需修改第4)步的补偿分辨率进行调整,同时,机床参数3623也要做相同修改,重新生成补偿值再补入机床。补偿时,注意-20mm对应位
6、置,按照均值补偿表从下往上依次补入,补完即可。(参考参数3620)重新测量之后,观察测量曲线变化情况,与未补偿前的测量数据进行对比分析,观察补偿后的机床精度是否有所改善。第七步:输入补偿值之后,再次测量注意及时保存需要的测量数据!附录:激光干涉仪加工中心测量程序(X轴)O0400G0G90X1.;(主程序)G4X1.;X0;G4X4.;M98P0401L14;X-1.;G4X1.;X1.;G4X4;M98P0402L14;M99;O0401G0G91X-50.;(子程序1)G4X4.;M99;O0402G0G91X
7、50.;(子程序2)G4X4.;M99;
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