欢迎来到天天文库
浏览记录
ID:48311555
大小:69.00 KB
页数:9页
时间:2020-01-15
《MOCVD介绍》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在应用文档-天天文库。
1、MOCVD设备应用概况介绍及市场情况分析2010-09-28导读:2010年中国LED产业异常火爆,在政策补贴的推动下,台湾、美国LED蕾晶业者积极进驻中国,预计中国在未来几年规划增加的LED设备MOCVD台数超过1200台,其中,今年增加的数量就超过300台。关键字MOCVD设备LED外延片GaN-MOCVDLED芯片 一、MOCVD设备与应用 德国AIXTRON公司(德国艾思强公司)和美国VEECO公司(美国维易科精密仪器有限公司)两家公司几乎生产了全球90%以上的主流MOCVD设备。 1、生产效率和成本概况 国际上MOCVD技术已经相当成熟,主流设备从2003年6-8片
2、机、2004年12片机、2005年15片机、2006年的21-24片机,目前已经达到42、45、49片机(一次可装载49片2英寸的衬底生长外延)。 外延炉容量的不断扩大让LED外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前,量产企业对单批产能的最低要求是在30片以上。 国产设备目前为6片机,生产效率和生产成本差距甚远。 2、价格及产值概况 生产型MOCVD设备的售价高达1000~2000万元。根据机型,6片机70万美元左右,9片机100万美元左右,加上相关配套设备设施,一条产线LED生产线需要投入4000多万元。 若新采购设备为45片机生产蓝光芯片,按3炉/天计算,年产4.9
3、万片左右,收入4800万元,投入产出基本为1:1。 3、生产过程工艺复杂,参数众多,优良率与均匀性是关键 外延片生长过程工艺复杂,参数众多,培养专业操作人员需时间较长。 一个最简单的GaN蓝光LED单量子阱结构,其生长工艺包括:高温烘烤、缓冲层、重结晶、n-GaN、阱层、叠层及p-GaN等,工艺步骤达几十步,每一步需调整的工艺参数共有20多个,各参数之间存在比较微妙的关系,工艺编辑人员需根据工艺要求,对各个参数进行逐一调整,必要时还要进行计算,如升温速度、升压速度、生长速率控制、载气与气源配比等。如何根据工艺需要自动对参数进行检查,减轻工艺人员的工作量,是值得研究的新兴课题。
4、 每个外延芯片、生产批次与系统之间的关系,能确保良好的均匀性以及优良率,尤其在芯片厂商扩产时,还能维持相同的优良率与均匀性就显的特别关键。 4、4英寸MOCVD设备将成为主流 现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产4英寸和6英寸的能力,但是出于成本的考虑,多数台湾厂家还是以2英寸的MOVCD设备为生产主线;大部分欧美与韩国厂商则早已使用4英寸MOVCD设备。 市场预期一旦4英寸外延片材料成本大幅崩落(目前4英寸外延片的成本价格约为2寸外延片的四倍),2英寸的MOCVD设备将逐渐被4英寸所取代。 AIXTRON与SemiLEDs在2009年5月就合作开发出6寸蓝光LED芯片,在
5、6x6寸AIX2800G4HTMOCVD反应炉的结构上,产量增加约30%(相较于传统42x2-inch的架构),不但均匀性较好,也减少了边缘效应(edgeeffect)。不过就现阶段而言,大多数的困难仍然在于6寸的基板价格偏高与外延片切割技术的挑战。二、MOCVD设备市场情况 1、设备供应商概况 目前国际上主要的MOCVD设备供应商有两家: ①德国AIXTRON公司(德国艾思强公司) 根据GartnerDataquest最近的一份分析报告,2008年AIXTRON公司MOCVD复合半导体设备的全球占有率达到72%。 目前,AIXTRON公司最先进的独特的行星转盘技术应用在大
6、型G42800HT42*2”以及ThomasSwan(1999年被AIXTRON收购)CCSCrius30*2”MOCVD系统,使得AIXTRON的MOCVD设备被公认为世界上技术和商业价值最完美的结合。 ②美国VEECO公司 美国维易科精密仪器有限公司占20%以上,其中主打机型45片机K465已经销售超过100台,至今K系列MOCVD产品全球销售超过200台。80%的世界顶尖LED企业已经采用K465型号的MOCVD,截止到目前,VEECO于中国地区大有斩获,累计MOCVD出货已达85台。 VEECO的MOCVD主要有以下优势: 首先,它是量产型机器,能有效提高量产的时间,
7、减少清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达1000摄氏度的温度冷却后清洗,然后再将温度升高至1000摄氏度,需要浪费不少的时间。 第二,自动化程度高,减少人为操作。例如可自动化导入,机械手在生产完成后可自动更换蓝宝石等,属于量产型的设计。 第三,保护设备投资,防止落伍。避免将来由于新的设备出现,造成旧设备的落伍。通过计划与客户充分沟通,新的设备与旧的设备联繫在一起,提升产品的良率。 今年以来由于MOCVD机台供不应求的状况,使得VEECO
此文档下载收益归作者所有