关于CLEAN ROOM.ppt

《关于CLEAN ROOM.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、关于CLEANROOM制造部是区分洁净室的等级的基准。以美联邦规格（FED-STD-209C）作为标准使用，长、宽、高各为1Feet(30.48cm)体积内的空气中，包含的一定大小以上的灰尘数。所谓CLEAN-CLASS?比0.5㎛大的灰尘会有几个呢？?1FT=30.48cm1FT=30.48cm1FT=30.48cm♣CLEAN-ROOM等级划分GLASS区分灰尘量最大容许数备注10.5㎛以上1个以下100＝1100.5㎛以上10个以下101＝101000.5㎛以上100个以下102＝1001，0000.5㎛以上1，000个以下103＝1，00010，0000.5㎛以上10，000个以

2、下104＝10，000所谓灰尘（PARTICLEDUST）?存在于空气或GAS、液体上的固体性物质。比1㎛大的称为微粒子（DUST），比1㎛小的称为灰尘（PARTICLE）,但我们出于便利，通用为灰尘（PARTICLE）。◎作为我们管理对象的粒子的大小呢？0.5㎛粒子太小，用廓大镜都难看到……真是！这可怎么找啊？？？100㎛？（0.5㎛）烟雾（1.0㎛）微细Spray的最小粒子（1.0㎛）头发（100㎛）♣清洁管理4大原则各位知道我们管理0.5㎛的粒子的理由吗？那是因为，第一,对洁净室等级的规格是按照美联邦规格基准适用的评价基准，第二，灰尘（PARTICLE）测定方法中，光散射式记数法粒子基准

3、在0.5㎛的粒子的评价的信赖性最高…想必各位应该知道吧?♣管理0.5㎛的粒子的理由?♣AIR-SHOWER实际去除的灰尘数?灰尘直径没有进行风淋时经过风淋后风淋+Ionizer≥0.3㎛571,000121,00035,000≥0.5㎛367,00075,00026,000(实验值)去除灰尘的比较感应器(SENSOR)是为了AIR-SHOWER自动动作,感应人进入到风淋室的机能。预滤器(PRE-FILTER)是AIR-SHOWER动作中,去除从人的身体或衣服上掉下来的大灰尘给HEPA-FILTER影响的机能。进入AIR-SHOWER时,要在有SENSOR地方等待…HEPA-FILTER的寿命在

4、于对PRE-FILTER的管理…♣♣♣HEPA-FILTER的寿命在于PRE-FILTER的管理预滤器（PRE-FILTER）的清扫方法？？第一.每周清扫一次..清扫用真空清扫器去除FILTER上沾上的灰尘.第二.隔周清扫（2周1次）中性洗涤（5％）与水（95％）混合后，将FILTER浸泡在里面，左右10次、上下10次晃动之后，在纯水中清洗，最后在通风良好的地方干燥，清扫即OK!!♣AIR-SHOWER(风淋)的机能简述的话…！♣AIR-SHOWER的目的..！♣AIR-SHOWER去除出入洁净室人的衣服上或身上附着的灰尘♣形成洁净室的AIRLOCK.(AIR-LOCK)？？设置出入口两扇门，

5、不让两扇门同时开起，来切断空气的机能.♣在AIR-SHOWER去除灰尘的效率..？？灰尘大小5㎛以下5～20㎛20～50㎛50㎛以上去除效率80％85％90％95％AIR-SHOWE??将清净化的强风对人进行吹袭，来去除人身上或衣服上附着的灰尘的洁净室的辅助设备。风力一般为20M/Sec(初速20M),接近于B级型台风的风速。从HEPA-FILTER出来的Airsupply的风速给气流带来怎样的影响???风速与气流的关系?♣HEPA-FILTER（高效微粒空气过滤器）风速差异多发生情况如上图中，产生向风速弱的地方倾斜的倾向.这样的现象称为偏流现象。风速:1.0M/S风速:0.7M/SDEADZ

6、ONE♣HEPA-FILTER（高效微粒空气过滤器）风速低的情况时如上图中，因风速弱，空气向两个壁面的通风口漏出去.因此DEADZONE的空间将变宽。风速:0.3M/S风速:0.3M/SDEADZONEDEADZONEDEADZONE♣HEPA-FILTER（高效微粒空气过滤器）风速高的情况时如上图中，风速冲击到洁净室地面或生产设备产生逆流上升的现象。洁净室地面以及设备上的异物（灰尘）与气流一同飞散污染洁净室中央。另外严重发生涡流现象。风速:1.5M/S风速:1.5M/SDEADZONEDEADZONE有关风速与气流器具的风速差异大时，产生偏流现象，风速快时，有涡流现象，风速慢时，污染地方多。

7、太有难度了…！！！♣风速与气流有怎样的关系？◎从洁净室地面测定的风速要选定为0.1M/S±20%程度。◎洁净室内通风口的风速，在选定的值的基础上调整±20%范围。0.1±20％♣怎样选定风速最好呢？♣选定恰当风速的洁净室的高度别灰尘量是什么程度的？2M1M①②⑤④③⑥序号越低,灰尘量越少。