抽真空技术在射芯机上的研究及应用.pdf

《抽真空技术在射芯机上的研究及应用.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、圆园员苑uv员源w（xv圆员缘w）摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇Vyz{摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇摇A4#DÞS=ìJàä[./h

2、}■ëpp，ì摇■To（pp）¡KLMN，/Q摇pp摇源苑员园园园X摇Y：ß´Êßö§9+，Â×Ò¢2èlö§9ÇÌÜ߯+JÏ。Z[：ö§9摇ÇÌÜ摇E=ÿ摇Ò¢摇JÏlÇÌ+w¾Êß，ö§9ãlSPQ、TU.§Êв+，½ÏåÇ9Ì，£0w¾u%&‘Q，F¯+´I，}w¾¡5。ã，l3ê、èÜïéúûüÏh§w¾ÍÈ9Ì。geÓw¾+远员园圆!Myÿc’̧员园缘)¹?Üyc’Ì0@î®UOÌ，Ï+Äö§9

3、。y，pö§9+TU.，gEzÎ+cS¡+ß，]·;lE/zÞEiTu。Z，6.+½Ï89TUF，zÛ}~w¾¡5，"h·¸。ã，ö§9+½Ïl¶Qß,dÇ。ÎÏÒ¢2è，lE9=ßgÂ’Ò¢‘Y，QÏ]T员原¢b-6W摇圆原®I¯摇猿原_i¯摇源原;W摇缘原"TGÜ摇远原®U¯GÜlE/ÒW¢Un/Ádb，½ö§9æýlE=ÿ/，ìve圆摇àÌDÞS£De89TU+F。å>6.+89TUF，e«Ó¨;¦7}，（uü¢_i¯猿,&°/¢Qg+}~iöt），E9，EæMäZZî2è，l郧云EÌÜ杂员苑猿源—酝杂ߨ;hÿBC，Õ$ò9®U¯远öt®U，>

4、E/+b-û²6W员+ʶ_ü，+ã2è。lSz9、ñEi0@E9iè。®I¯圆öt，t7Ò¢，E/Ãndb，9[íæúæ<çâMEi+E=ÿ，¡E!Gx。。¬{ü，Ì

5、j

6、â~OYu，òæýSUÈ。郧云EÌÜ杂员苑猿源—酝杂¨;_‘Ò¢‘Y，ìv¡Ò、H、"+１援３　"+R^iúüï，>¿Zî、å+ö§9üÇ2è。å

7、¯u’‘Yl郧云EÌÜ/Tu，·¸。ëìË¿’üÇ[°，¬EÌܶz}杂员苑猿源—酝杂ß+½Ï./@Â×g

8、。~；（圆）&°_‘JÔБ2，zJSv°，0¶¢

9、Qjk；１　ÞSfg;}ÅRAC£D（猿）½ÏJZVU]TGÜ，ûmíÂö§9。YæÂö§9ü，!１援１　ñâF-IG#Û¡·¸S w+¢Q，½9[æ，9¶Â，D*zJkl½ÏÒ¢‘Y，õãÊË’lSÒU/+E9=，E=ÿ+Ý，0m£Y!YÂ；（源）l¤Ê‘+¾¿

10、JZ0ôlw¾;AîïÒ¢，g

11、f员Rh。ÎÏlS9Î/+Õ}£0C½xhb-_+¢b-6W；（缘）lÊËE=ÿü，ÒUàJu®W

12、kaäe，ö:>E9»。u+û+!¡³ÒUàR?Ei，½ÒW+¢U-ÅúEi，nWßÊ+-，8I9[ÞEiTu，ÒUà+9¬äeãE=ÿ+%&i¶；（远）EE¯

13、ß+b>®U¯，J_‘lE9=ßÁ，0Q®U。２　ÞS>¨×>;}¦òÇ-ÎÏÒ¢M¬;GlE9»ßÂ89»0@½ÏÉoR§9Ì3，zÎlw¾+u¶.、£;.、úU7Q¯，lï+:$.、w¾¡5¯，ÄlSÑF3Q+]。（员）;G!¡ñIE/+9[ÞEiTu，¨z+"FlE9»ßÂ89»，ñI9[úûTu。å+)89»+Ò£z员原EE¯摇圆原®Uà摇猿原E=ÿ摇源原ÒUà摇缘原;T摇远原E9»/;h，，zÈÏ，9["ÞEiúûTu；yz/;o，;oe员摇àÌD}MeÝÊÒ£，E9ü9[TUz«，ÌEz¤。Z，plE=ÿßg¡ý>ÒU½à，Aå>½à/Á

14、S>;9[TU.，Ü_ÎÏ+çâMEi，åæEò9，Ei/T，ÒUP»9[+ÈÏ，（u;T‘a¦¼WNO）。lE9ÐÏ+-V9[，Ä"fÌ+

15、j，

16、Ì+E@}EßF¯，W=ßÁ+EE¯ß<&¡b>E9®U¯½à，/ÁDH¬ÒU¡·¸，<Ì[+H}~0Z，½ÌÍåÅyzZ½àÌ{。½。w¾¡5ãh,}~。¥zbw¾_，c*½Ï。Z，õZoÏÒ¢Ï+U§M]TGÜ4、"¢（圆）!¡ñIE/9[ÞEiúûTuÓÿ>"F：½QÏ+¢b-6W>、9ÈÏ+®I¯ bXb¨cÏÉoö§9，å+：lE9»ßzõÂ89»，9[lE¯I、_iÈÏ+¢9ί>、;îgÏ+

17、¢ë_ðg/z"úûTu，g{ÎÏÒ¢).，E9ü，9[TUúû¼ä»WI0@E9®U¯bI。«，¶¡ãÒ£，+Ì[ÑÒ，w¾¡5。e«１援２　ñâ4ØcH9Jl÷Ò¢).3zÏ+F，yw¾_c。Ò¢).+ȼåg

18、f圆Rh。（猿）ÎÏÒ¢).¬ß¯bFÌ3，zÐlEi+ÑYZ，ÈVU]TGÜ缘îïÒ¢，ûmötE9=ßÁ£Ò， ½Õ

19、¡。i½Ï89»z{¡，¦u¾¿，-¯îïÂ9，½E9=/i¤ö§9，uü9["úælE/)E9»îïÍå，，w¾7ÑFîï，yzZ½。ÿZ，ÎÏÒ/，îâ¤ÜÈto。¢).zÐlEò9"7Ei/+-V9[TE@}+¾¿

20、。>ÌîâE9XÇXü，®I¯圆§E9®U¯远{üã，z"<Ì[+§ÍåÈH}~。S，ÎÏÒ¢