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时间:2020-01-13
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1、CourseNo.04813190MEMS器件与设计MEMSDevices&Design教室:二教5082009年2月24日时间:每周二5:30-8:30pmFeb17-June1th,2009教师张海霞,教授62752536-17,Cell:13701113366Email:zhanghx@ime.pku.edu.cn杨振川,副教授62752536-18Email:Z.yang@ime.pku.edu.cnOffice:IME,PKU,2ndfloorOfficehour,9am-8pmeveryday北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17
2、课程简介本课程的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS设计的基础理论和研究方法,结合几种常用的MEMS器件作为研究实例,让学生了解和掌握MEMS器件和系统,从原理设计、工艺设计、系统设计,到加工测试的整个设计过程,以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时,培训目前MEMS研究中常用的软件工具,让学生掌握最先进的辅助研究工具,提高设计效率和质量。北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17课程安排2月17日CourseOverviewLecuture1:IntroductiontoMEMS,Instructor:ZHANGHaixia
3、2月24日Lecture2:SmallisDifferent:MEMSDesignandFabrication,Instructor:ZhangHaixia3月03日Lecture3:IntroductiontoMechanicsofMaterials,Instructor:YANGZhenchuan3月10日Lecture4:SensingandActuationofMEMS,Instructor:YANGZhenchuan3月17日Lecture5:ProcessDesignTechnology,Instructor:YANGZhenchuan3月24日Lecture6:P
4、rocessEffectonstructuredesign&Layoutdesign,Instructor:YANGZhenchuan3月31日Lecture7:SoftwareTraining:ANSYS(1),Instructor:YANGZhenchuan4月07日Lecture8:SoftwareTraining:ANSYS(2),Instructor:YANGZhenchuan4月14日Lecture9:SoftwareTraining:ANSYS(3),Instructor:YANGZhenchuan4月21日Lecture10:MEMSSystemDesign,I
5、nstructor:YANGZhenchuan4月28日Lecture11:MEMSInertialSensors,Instructor:YANGZhenchuan5月05日Lecture12:MEMSDevicedesign1:Accelerometer,Instructor:YANGZhenchuan5月12日Lecture13:MEMSDevicedesign2:SiCPressureSensor,Instructor:ZHANGHaixia5月19日Lecture14:MEMSDevicedesign3:Bio-MEMS,Instructor:ZhangHaixia5月
6、26日Lecture15:Future:NEMS,Instructor:ZhangHaixia6月01日Lecture16:FinalProject北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17课程评分标准FirstProjectFinalProject20%50%Homework30%北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17北京大学信息学院微电子学研究院张海霞AliceZhangzhanghx@ime.pku.edu.cn62752536-17提提纲纲一、MEMS的定义与特点二、MEMS的发展历程三、北大的MEMS
7、研究四、作业北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17一、MEMS微机电系统Micro-Eelectro-MechanicalSystems,简称MEMS,是在微电子技术基础上发展并拓宽起来的微小型化革命,它是集物理、化学和生物的敏感器(执行信息获取功能)、执行器与信息处理和存储为一体的微型集成系统,泛指采用大批量微机械加工方法制造的微小型集成器件和系统。北京大学微电子学研究院MEMS器件与设计(第一讲)张海霞2009-2-17大脑-信息处理(集成电路)腿脚-
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