莱宝真空测量简易样本.pdf

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1、真空测量设备传感器Sensors，passivegauges和变送器Transmitters，ActivegaugesGaugesTransmittersSensorsAnaloginterfaceDigtialinterface路线图:SensorsAnalogTransmittersDigtialTransmittersPage2CorporatePresentationMaster传感器:(没有内置芯片)命名规则:2个字母+数字(例如：PR25,TR211)优点:-抗辐射-可以高温烘烤-适合严苛环

2、境局限性：-必须和控制器连用-不能做温度补偿等功能-不能做复合规管-原配控制器已经停产Page3CorporatePresentationMaster变送器:(带内置芯片)命名规则:2个字母+数字(例如：TTR91,CTR100)优点:-拓展性强(温度补偿,复合真空规……)-可以直接和PLC或计算机连接工作局限性-不适合辐射环境-烘烤温度低Page4CorporatePresentationMaster变送器:数字化!模拟量输出:0-10VoutputPLC或者计算机需要模拟量采集器才能与规管连用。数字

3、接口：RS232,Profibus,DeviceNet……!直接与PLC或计算机连用!Page5CorporatePresentationMaster真空测量基础-3-7压强(mbar)100011x101x10在直径35毫米面9,5kg9,5g9,5mg0,95µg积上的等效压力1916139气体分子密度1x101x101x101x103(1/cm)-3è压强小于10mbar的时候很难用力学方法直接测量气体压强!Page6CorporatePresentationMaster气体全压强测量基础介绍2种

4、测量方法:n直接法--测量表面压力n间接法—通过测量与气体密度相关的性质如热导率和离子电导率间接测量真空值Page7CorporatePresentationMaster直接法真空计机械真空计优点:-测量结果与被测气体种类无关BOURDONVAC-不需要供电(èEX-proof)-反应速度快典型应用Capsule-Vacuummeter-干燥-精馏-化工(DIAVAC)DIAVACPage8CorporatePresentationMaster电容薄膜规参考压强室p<<测量值电极薄膜电极真空Page9C

5、orporatePresentationMaster电容式薄膜真空计(CDG)CERAVACTransmitterCTR100/CTR91-量程跨越4个数量级0.1–1000,0.01–100,1x10-3–10,1x10-4–1Torr-不受被测气体种类限制-精度高重复性好-能用作工艺控制(2-3个数量级)-可用作校准的标准真空计(与DIN/ISO9000复合使用)-耐腐蚀Page10CorporatePresentationMaster新产品！CTR100•长期稳定性好•耐反复的大气冲击•恢复时间短

6、•预热时间短•使用寿命长•按键式零点调节•精度高，适合要求反应速度快的工艺Page11CorporatePresentationMaster间接测量法•通过测量与气体密度相关的性质如热导率和离子电导率间接测量真空值1,热传导规(Pirani)2,离子规•冷阴极规(Penning)•热阴极规Page12CorporatePresentationMaster热传导真空规皮拉尼真空计•皮拉尼真空计是使用最广泛的热传导真空计。•一根金属丝通电加热到120°C左右，金属丝周围的气体分子会带走金属丝的能量。为了保持

7、金属丝温度稳定所消耗的电能与气体分子的密度相关。Page13CorporatePresentationMaster热传导真空规原理图热金属丝(约120°C)冷管热分子冷分子电源接口Page14CorporatePresentationMaster热传导真空规热损耗与压力的关系曲线Page15CorporatePresentationMaster热传导真空规量程•通过加热丝设计对和温度补偿的优化，热传导真空计的量程可以扩展到1x10-3-100mbar，测量误差15%。Page16CorporatePre

8、sentationMaster热传导真空规气体种类对真空计的影响1重量轻热运动速度快的气体分子可以带走更多的热量è皮拉尼真空计的读数是和气体种类相关的Page17CorporatePresentationMaster热传导真空规气体种类对真空计的影响2N2;O2;Air1.0E+03ArXe1.0E+02He]ra1.0E+01bmH2[er1.0E+00usser1.0E-01Peur1.0E-02T1.0E-031.0E-041.0E-