无尘车间洁净度标准

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1、.无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本

2、，相应的规格是JISB9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JISB9920的级别的主要内容。表7美国联邦规格No.209B净化间粒子室内压力温度湿度气流照度级别粒径累计粒Pa范围推荐值差高最误差换气次数um子数mmHO（℃）（℃）（℃）（%）低%2%100≧0.5100+1319.4—22.24530（+1.3）25层流方式1080-1000≧0.51000以上±2.8±100.45m/s-1620≧510特别特别±0.1m/s10000≧0.5100

3、00时为时为非层流方≧565±1.4±5式100000≧0.5100000≧20次/h≧5700表8,美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*级别名称**级别上限值粒径粒径粒径粒径粒径0.1um0.2um0.3um0.5um5umSI***English(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)UnitMI3509.9175.72.1430.90.87510.00.283----M1.5112403

4、5.02657.501063.0035.31.00----M2350099.175721.43098.751002.83----M2.51012000350265075.0106030.035310.0----M3350009917570214309087.5100028.3----M3.5100----26500750106003003530100----M4----7570021403090087510000283----M4.51000------------3530010002477.00M5----------

5、--100000238061817.5M5.510000------------35300010000247070.0M6------------1000000283006180175M6.5100000------------353000010000024700700M7------------10000000283000618001750...*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其

6、中，M:SI单位里的级别名称，D:粒径（um）***国际单位（SystemeInternationald’Unites的缩写）图1，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。（）内数值是用Englishunit表示级别。图2，JISB9920的洁净度级别的上限浓度表9，JISB9920主要内容净化间级别标准粒径（um）累计粒子数(个/m3)10.110120.110230.110340.110450.110560.110670.171080.1108表10，美国航空宇宙局规格主要内容生物粒子

7、生物粒子室内温度湿气流照度净化粒径累计浮游量沉降量压力℃度换气次Lx间级um粒子数个/ftPa%数别个/ft(个/l)mmH2O(个/l)≧0.51000.112001080100（3.5）（0.0035）（12900）—+13推40层流方式162010000≧0.5100000.56000（+1.3）荐—0.45m/s（350）（0.0176）（64000）以上值50±0.1m/s≧565（2.3）非层流式≧20次/h100000≧0.51000002.530000（3500）（0.0884）（323000）≧5700

8、(25)三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而