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《圆弧形柔性铰链式二维并联压电微动平台的设计【毕业设计】》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、本科毕业论文（20届）圆弧形柔性铰链式二维并联压电微动平台的设计摘 要摘要：微动平台，或称为微位移机构，是指行程小、灵敏度和精度高的机构,它是微动系统的核心。本文设计了一种圆弧形柔性铰链式的二维微动工作台。平台由压电陶瓷执行器驱动的、在X和Y方向上的行程各为40微米。该微动平台采用柔性铰链支撑的并联式设计结构，与串联结构形式相比，该结构更简单紧凑，具有更宽的有效工作平面，其x方向和y方向完全对称，所以这两个方向的参数完全相同，便于参数识别与工作台的控制；该平台以双平行四杆机构为基础，由6个柔性铰链臂和12个柔性铰链组成，与单平行的四杆机构相比，由于
2、该结构的连杆沿杆长方向伸长而不产生寄生运动，x和y方向也不会相互耦合。设计中确定了圆弧形柔性铰链与微动平台的几何尺寸，根据所确定的圆弧形柔性铰链与微动平台的几何尺寸以及所给定的微动平台的位移行程，计算出圆弧形柔性铰链的最大应力，并校核微动平台的强度；计算了微动平台的弹性恢复力、刚度，根据微动平台的弹性恢复力与刚度，确定压电陶瓷执行器的参数：最大输出位移、最大驱动力、刚度。最后基于Pro/E、AutoCAD绘制了微动平台的三维造型图、装配图与零件图。关键词：微动工作台；并联结构；柔性铰链；压电驱动器Abstrac:Micropositionalsta
3、ge,isasmallstroke,highprecision,andorganizationstructure,itisthecoreoftheMicroSystem.Designedaflexiblearc-shapedtwo-dimensionalmicro-hingedstage.Theplatformdrivenbypiezoelectricceramicactuators,andthedisplacementis40micronsinbothXandYdirection.Themicro-platformisdesignedofpara
4、llelstructurethatsupportedbyflexiblehinge,whichismoresimplerandcompacterstructurethantheseries,andhaveaseriesofwiderthantheeffectiveworkingplane.thexdirectionandydirectionarecompletelysymmetrical,sotheargumentsissameinbothdirections,whichiseasyforparameteridentificationandcont
5、rolingthestage;Theplatformisbasedonadoubleparallelfour-barmechanism,whichisformedwithsixflexiblehingearmandtwelveflexiblehinges,comparedtoSingle-parallelfour-barlinkage,becauseoftheconnectingrodofstructurealongthedirectionofrodlengthandWithoutparasiticmotion,thexandydirections
6、arenotcoupledwitheachother.Determinethegeometryofarc-shapedflexurehingeandthestage,basedonthegeometryofarc-shapedflexurehingeandthestage,thedisplacementofthestagewhichisgiventocalculatethemaximumstressofthearc-shapedflexiblehinges,andchecktheintensityofmicropositionalstage;Cal
7、culatedtheelasticresilienceforce,stiffnessofmicropositionalstage,accordingtoelasticrestoringforceandstiffness,todeterminetheparametersofpiezoelectricceramicactuators:themaximumoutputdisplacement,maximumdrivingforceandstiffness.Keywords:microstage;parallelstructure;flexiblehing
8、e;piezoelectricactuator.目 录摘 要II目 录IV1绪论11.1微动平台的研究意义11.2国内外研
