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1、.毕业设计指导word教育资料.MEMS传感器现状及应用摘要:MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。关键词:微电子机械系统(MEMS);传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器CurrentStatusandAppl
2、icationsofMEMSSensorsAbstract:MEMSsensorsfeaturegreatvarieties,rapiddevelopmentandwideapplications.Firstly,thecategoriesandtypicalapplicationsofMEMSsensorsareintroducedbriefly.Thenthreetypi-calMEMSsensors,i.e.thepressuresensor,accelerometerandgyroscopeareillustratedinde-tail,includingthe
3、subdivision,currenttechnicalcapabilityandperformanceindex,latestresearchprogress,productsandtheirapplications.Besidesthat,theresearchstatusoftheMEMSpres-suresensorusingnewmaterialsfortheextremeenvironmentathomeandabroadispresented.Finally,developmenttrendsofMEMSsensorsarepredictedinterms
4、ofnewmaterials,proces-singandassemblingtechnology.Keywords:microelectromechanicalsystem(MEMS);sensor;accelerometer;gyroscope;pres-suresensorword教育资料.目录引言11MEMS传感器分类及典型应用11.1MEMS传感器分类11.2MEMS传感器应用11.2.1微机械压力传感器11.2.2微加速度传感器21.2.3微机械陀螺22MEMS传感器的发展22.1缓慢成长期22.2缓慢成长期22.3快速成长期33MEMS传感器的发展趋势34
5、总结3参考文献3word教育资料.word教育资料.引言MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。第一个微型传感器诞生于1962年，至此开启了MEMS技术的先河[1]。此后，MEMS传感器作为MEMS技术的重要分支发展速度最快，长期受到美、日、英、俄等世界大国的高度重视，各国纷纷将MEMS传感器技术作为战略性技术领域之一，投入巨资进行专项研究。随着微电子技术、集成电
6、路和加工工艺的发展，传感器的微型、智能化、网络化和多功能化得到快速发展，MEMS传感器逐步取代传统的机械传感器，占据传感器主导地位，并在消费电子、汽车工业、航空航天、机械、化工、医药、生物等领域得到了广泛应用[2][6]。本文首先介绍了MEMS传感器的产品分类和典型应用。其次,从最新产品及应用等方面详细阐述了MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪的研究现状。最后,对MEMS传感器发展趋势进行了展望。1MEMS传感器分类及典型应用1.1MEMS传感器分类MEMS传感器的门类品种繁多,分类方法也很多。按其工作原理,可分为物理型、化学型和生物型三类[7]。按照被测的量又可分为加
7、速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分湿度、pH值、离子浓度、生物浓度及触觉等类型的传感器。MEMS传感器不仅种类繁多,而且用途广泛。作为获取信息的关键器件,MEMS传感器对各种传感装备的微型化发展起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭,航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。制造技术的日益精进使MEMS传感器的参数指标和性能不断提高,与多种学科的交叉融合又使传感器不断推陈出新,应用领域不断拓宽。1.2MEMS传感器应用1.2.1微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开始
