真空泵的选择

真空泵的选择

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1、真空泵的选择选用真空泵时,需要注意下列事项:    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mm

2、Hg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。    3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。    5、真空设备对油污染的要求。

3、若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。    6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。    8、真空泵工作时产生的振动对工艺

4、过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。    9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定  泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。  泵工作时,需要注意以下两个方面:·尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。·应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作

5、。  根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。二、根据系统所需的气量选择真空泵  初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页 真空计算公式。  面对各种型式的水环式真空泵及压缩机,我们特将其各自特点收集如下,以利于用户选型代号主要特点极

6、限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范围m3/min密封形式SK国内设计单级水环真空泵,结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。-700-300~-6500.15~120盘根、机械密封2SK国内设计双级水环真空泵,相当于两台SK水环泵串联使用,比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。-735-300~-7001.5~30盘根、机械密封2BV采用西门子先进技术,机泵同轴,结构紧凑,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。-735-300~-7000.45~8.33机械密

7、封2BE1采用西门子先进技术,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。-735-640-300~-700-300~-6005~400盘根、机械密封SZ50年代苏联技术,效率低,能耗大,80年代初已被淘汰,主要应用于老用户。-640~-700-300~-6501.5~27盘根SZB50年代苏联技术,效率低,能耗大,80年代初已被淘汰,主要应用于水泵引水,目前已被SK系列水环泵替代。-600-300~-5500.33~0.66盘根2SY主要应用于水环压缩机,最大排气

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