NVD奈米级涂布系统

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3、薄膜太陽能TCO,Ag,Si阻抗測試系統

4、太陽電池基板暗特性檢査系統

5、NVD奈米級塗布系統STSInLineSprayCoatingSystemSTS-600STS-200NVD（NanoVaporDeposition）採用塗布方式的Spray塗布系統獨立的Spray構造、在構造技術上與既有的Spray塗布装置相比有更高的塗布效率、更廣的膜厚Range（10nm～100μm）造就出劃時代的的Spray塗布系統。特徵可進行超微小流量塗布液控制（範圍0.5ｃｃ/min～10.0ｃ

6、ｃ/min）薄膜、厚膜各式各樣的Application対応（膜厚Range10nm～100μｍ）非常高效率的塗布效能（～90％、依塗布材料而有所不同）不會有大粒径的固體物混入材料的可能（Carbon・Filler等）排氣・廃液処理比起既有的系統更簡單化（可對應最小系統）無需選擇材料可對應各種有機溶剤，耐酸性・耐鹼性藥液採用瓶裝系統、依材料可作品種切換噴霧粒径Ф5～15μｍ（依本公司測定基準，使用水來進行）對應嚴格的環境政策與降低成本設備添加材料量可對應到最小10ml因為塗布効率高的關係、不需設置大規模排氣與廃液処理施設（既有方式的1/10以下）產生的廢棄物規模相當的小，因此，無須設置回収

7、施設塗布液所產生的飛散相當的少，所以不需增置防爆規格个人收集整理仅供参考学习可進行既有方式所無法進行的特殊材料成膜使用少流量液体材料既可產生霧化、不易凝結粒径均一、可均勻成膜微少流量控制，可均勻成膜液体材料不與大氣接觸，可於密閉状態装填（藥液採瓶裝系統）不採機械性流量調整，使用独立流量控制不使用氣泡式流量控制，因此可抑制Contamination液凝結接觸液體的部份耐藥品性強，採用PTFE(鐵氟龍)材質加工製作藥液瓶與流量控制器構成，設計簡潔可對應多種多様液体材料NVD塗布方式流量控制御系統圖STS-200/600設備規格概要本設備是將奈米微粒子藥液霧化，並採用非接触方式吹送至Work表

8、面形成薄膜的系統Application應用範例FPD業界各種機能性膜MEMS系統用厚膜resist燃料電池電極太陽電池電極光学Lens/GlassOvercoat自動車用Glass　各種Coating規格對象基板尺寸个人收集整理仅供参考学习200mm×200mm（STS-200）550mm×650mm（STS-600）Stage尺寸200mm×200mm（STS-200）500mm×500mm（STS-600）驅動軸X/Y/ZZ軸最大移動距離200mmX/Y軸最大移動速度1000mm/sec控制方式LaminaFlowController設備尺寸寬×長×高700mm×800mm×2000

9、mm（STS-200）1200mm×1400mm×2000mm（STS-600）重量280kg（STS-200）440kg（STS-600）排氣15m3/min（STS-200）15m3/min（STS-600）HEPA尺寸500mm×500mmUtility電源3相220V5AN2orAir流量7kg/cm2