现代电容式薄膜绝对压力传感器原理

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1、MKSConfidential1现代电容式薄膜绝对压力传感器原理压力测量–电容式薄膜压力传感器在超高真空下的参考面通过真空泵维持在高真空参考压力下MKSConfidential2一个完整的传感器–压力传感器+信号控制电路压力测量–电容式薄膜压力传感器(Manometer)电子部件满度调节线形调节零点调节振荡器参考缓存放大电桥输出MKSConfidential3压力测量–电容式薄膜压力传感器现代电容式薄膜差压式压力传感器原理至电子部件隔膜电子组件测量面参考面MKSConfidential4温度控制

2、的薄膜压力传感器–范围及输出压力测量–电容式薄膜压力传感器零点压力读数范围可控范围压力分辨率举例：1Torr满量程压力传感器MKSConfidential5压力测量–电容式薄膜压力传感器温度控制的薄膜压力传感器系列MKSConfidential6零点、满量程及线性压力测量–电容式薄膜压力传感器显示压力输出零点零点失调满量程失调线性失调调整的比例真实压力满量程MKSConfidential7误差满量程显示压力读数值的%误差带满量程的%误差带满量程真实压力压力测量–电容式薄膜压力传感器解决方法降低温

3、度依赖非线性滞后非重复性满量程温度系数MKSConfidential8零点调整压力测量–电容式薄膜压力传感器输出信号用螺丝刀进行零点调整或在显示/控制仪上实施零点修正真空条件下MKSConfidential9600系列Baratron电容式薄膜压力传感器满量程范围:20mT~25kT精度:读数值的0.12%分辨率:满量程的0.001%温度控制:环境温度,45℃or100℃温度系数零点:0.002%满量程./°C增益:0.02%读数值/°C两个继电器控制点可选电源电压:±15VDC输出信号:0~

4、10VMKS电容式薄膜压力传感器系列MKSConfidential10631B高温Baratron700系列Baratron电容式薄膜压力传感器中等性能价格便宜紧凑型尺寸满量程范围:1T~1000T精度:读数值的±0.5%温度控制:环境温度,45℃or100℃电源电压:±15VDC或+24VDC输出信号:0~10V或0~5V890/892压力传感器满量程范围:20~3000PSI精度:读数值的±1%电源电压:+13VDC~+32VDC输出信号:0~10V0~5V4~20mAMKS电容式薄膜压力

5、传感器系列基于以太网通讯的e-BaratronMKSConfidential11MKS电容式薄膜压力传感器系列MKSConfidential12MKS电容式薄膜压力传感器电气连接