直读光谱仪维护作业指导书

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1、直读光谱仪维护作业指导书上海腾中机电有限公司直读光谱仪维护手册上海腾屮机电有限公司撰写：于晓伟2008年度上海腾中机电有限公司直读光谱仪维护手册主题：4460擦透镜编号：ZD4460-002工具：高纯度酒精、脱脂棉、洗耳球LEVEL：3触发条件：当各元素强度降低，且客户要求吋清理透镜，清理时客户应有人员在场。步骤：1.关闭光闸2.拔下透镜加热电缆插头3.拔出透镜4.观察是否有划痕，如发现应先向客户指出5.取两块脱脂棉蘸上酒精分别放在透镜两侧，溶解污物约10分钟；1.用脱脂棉轻轻擦拭透镜表面，力度要轻，注意指甲不要触及到透镜;2

2、.用洗耳球吹透镜，防止透镜上带有脱脂棉纤维；&对光源仔细观察透镜上是否有附着物；9•擦拭完毕将透镜插入槽内约一半；10.接上透镜加热线缆，加热10分钟；11.完全插入透镜；12.打开光闸；13.开始做标准化；14.完毕。上海腾中机电有限公司直读光谱仪维护手册主题：激发台清灰编号：ZD4460-001工具：螺丝刀、六棱扳手、洗耳球、压缩空气、吸尘器、手电触发条件：激发台内部清灰在每月应进行一次，主要包括CCS母板，CCS电源板，CCS逻辑板和激发板的清灰。注：当OE出现BITBUS报警，也可能是激发台内灰尘大引起。步骤：步骤如下

3、，在操作时，特别应注意线缆插头的拔插，不能损坏插头。1.进入OE初始化菜单，打印仪器状态。1.关闭OE软件；2.关闭负高压和电子箱电源；3.打开仪器左侧面板，在关闭负高压和电子箱电源关闭20S后拔下CCS电源插头;4.拆下激发台DOOR,和侧板；5.拧开激发台罩固定螺丝，轻轻拆下激发台罩；6.带静电环或触摸机器外壳发掉身体静电；&拔下OF光缆；9.分别拆下CCS电源和逻辑板，用洗耳球或压缩空气清灰；10.用同样方法清理CCS母板和台罩内各部分灰尘；11.装好CCS电源板和逻辑板；12.拆下激发板外壳风扇，先拔下风扇电源拆下时注

4、意不要损坏风扇接地线，风扇清灰；13.拔下激发板与母板连接的线缆插头XE1,拧下激发板底部4个螺丝，拆下激发板；14.用同样的方法清灰；15.安装激发板，注意电极底部插头，插入激发板高压插座，拧上螺丝；16.插上OF电缆到CCS逻辑板和XE1到母板；17.插上CCS电源插头，给上负高压和电子柜电源；打开0E软件；19.激发废样看，激发是否正常；如不止常，检查XE1和OF。以及激发板安装位置。19.正常后，退出0E,关闭负高压和电子柜电源，拔下CCS电源；20.安装风扇;21.安装激发台罩，安装时两人进行，一人负责安装，一人负责

5、观察是否压到激发台内部线缆。;22.安装激发台DOOR和侧板；23.重复16；24.重复17,18；25.正常后完毕。上海腾中机电有限公司直读光谱仪维护手册主题：真空泵换真空油编号：ZD4460-003工具：螺丝刀、六棱扳手、真空泵汕、吸尘器、纱布、酒精触发条件：步骤：1.打印机器状态；2・关0E软件；3.关电子柜电源，关负高压，关真空泵电源，关水泵电源；4.除去机柜上杂物；3.开机柜顶盖；4.缓慢放掉真空后，拧紧真空阀；5.扣上机体上盖；6.拔掉真空泵电源线;7.用吸尘器清除干净机柜后壳内灰尘，擦干净真空泵；8.擦干净油管及

6、线缆；9.用扳手拧开真空泵与真空抽气管之间的压扣；10.清洁真空抽气管的端口；11.拿下真空泵放在合适位置，清洁真空泵上的灰尘和污垢；12.用纱布和酒精清洁抽真空的气口；13.拿下真空泵上的小端盖，露出注油口；14.拧开顶部两个注油口；15.用容器在出油口接好，缓慢拧开排油口，将泵内原有的真空油排除；向出油口方向倾斜真空泵将油全部排除；19.拧上出油口；20.将烧杯内倒入少量真空油，倒入注油口中，轻轻摇动真空泵，洗出污物；21.打开出油口排出清洗用的真空油；22.拧上排油口；19.用烧杯向真空泵注油，油位到达油位指示窗口最上面

7、两道横线的中间部位；20.拧上注油口螺丝；21.安装好小端盖；22.将真空泵在机柜内摆好位置；23.装好真空抽气管，用扳手拧住，防止漏气;2&插上真空泵电源线，检查确认无误；29.送主电源开关，送水泵开关，送真空泵开关、送负高压、送电子柜电源；30.开OE软件，监测真空状态31.真空正常后，打点正常，工作完毕。上海腾中机电有限公司直读光谱仪维护手册主题：更换膜泵V3膜泵换膜片编号：ZD4460-001工具：螺丝刀、六棱扳手、洗耳球、吸尘器、银子、专用工具、纱布触发条件：真空上不去膜泵异响年度维护一、主机拆膜泵步骤：1.进OE软

8、件，打印当前机器状态；1.关闭仪器后面泵电源开关；2.拿掉光谱仪顶盖上的杂物；3.用六棱扳手拧开光谱仪顶盖的紧固螺栓，向后掀起顶盖；4.用螺丝刀缓缓拧松真空放气阀螺丝，待听到细微的放气声，停止旋动，切忌不可一下完全拧松，防止光室受到冲击；5.待真空室压力完全到大气压后，旋紧放