计算机集成制造系统(CIMS)中设备自动化(EAP)

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1、西安电子科技大学硕士学位论文计算机集成制造系统（CIMS）中设备自动化（EAP）设计与开发姓名：焦海霞申请学位级别：硕士专业：计算机系统结构指导教师：高有行20040101摘要本文讨论了半导体制造业CIMS工程中设备自动化系统(EAP)的设计与开发。EAP系统主要功能是对生产线上机台(Equipment)进行实时监控，是实现生产自动化不可缺少的监控系统。经过认真地需求分析，本文中的EAP系统结构设计为三个模块，即EC、ED和Taskflow。由于EAP面向外部系统通信协议不一样，所以系统设计对外有两个接口。EC模块实现对外面

2、向CIMS中的其它子系统的接口，采用RV通信格式：而ED实现了面向设备系统的接口，采用基于RS232的SECS通信协议。采用三模块的系统设计结构使复杂的设备控制逐层分化，每个模块任务明确，易于实现。同时系统对外接口清晰，软件结构上有较强的重用性。EAP系统主要实现了设备模式控制、设备初始化控制、材料状态跟踪、设备远程控制、数据采集、警报管理、设备状态管理、配方管理、与MES、AS通讯的功能。系统实现的优点在于适应性强、结构清晰、易维护。关键字：计算机集成制造系统设备自动化系统半导体设备通信标准生产流程流程控制Abstract

3、ThispaperdiscussedthedesignanddevelopmentofEAPsysteminCIMSprojectofsemi—conductormanufacturingindustry．ThemainfunctionofEAPismonitoringandcontrollingtheequipmentofproductline，itisnecessarycontrolsystemtorealizeauto—producing．Beforethesystemdesign，requirementanalysi

4、shastobestudiedseriously，thearchitectureofEAPsystemismadeupofthreemodules，thoseareEC(EquipmentContr01)，ED(EquipmentDriver)andTaskflow．FortheEAPsystemmustfacetooutsidesystemwiththedifferentprotocol，sothesystemdesigntohavetwointerfaces．ECrealizedtheinterfacetowardMES

5、，AS，thecommunicationprotocolisRV；EDrealizedtheinterfacetowardequipmentsystem，theprotocolisSECSbasedonRS232．Adoptingthree—modulearchitecturemadethecomplicatedsystemsimple，andthefunctionofeachmoduleisclearandeasytorealize．Atthesametime，theinterfaceofsystemisclearandd

6、efinite，itssoftwarearchitectureisstrongertouse．ThemajorfunctionsofEAPsystemareequipmentmodecontrol，equipmentinitialization，materialtracking，equipmentremotecontrol，datacollection，alarmmanagement，equipmentstatemanagement，recipemanagementandcommunicationwithMES，AS．The

7、advantageofthissystemisit’sstrongadaptability,definitearchitectureandeasymaintenance．Keyword：CIMSEAPSECSProcessFlowProcessControly583327创造性说明本人声明所呈交的论文是我个人在导师的指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与

8、我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。本人签名关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。本