不锈钢蚀刻工艺作业指导书

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1、不锈钢蚀刻加工工艺作业指导书一.目的：本指导书规定显影、蚀刻、去膜、检验、工序的工作内容和步骤。二•范围：木作业指导书适用于显影、蚀刻、和去膜的工作过程。三•设备:门动金屈蚀刻生产线四.材料：三氯化铁、碳酸钠、盐酸、双氧水、氢氧化钠、去泡剂、软化水、该工位的生产板。五•工艺：5.1蚀刻操作步骤5.11蚀刻启动将“MAINSWITCH”转至“ON”的位置，送入主电力电源，在按下控制面板上“POWER"钮，此时“POWER”钮内Z显示灯亮，并注意“ENDSTOP，灯是否亮着，若冇应即将控制面板上或蚀刻机台上之紧急停止按钮予以复归.5.12蚀刻开机顺

2、序首先确定所有的开关均置OFF状态；将CONTROLSOURCE的旋钮旋开,使电源输入；将所有的加热系统依流程顺序压下，先使其预热；再将所有的温度设定器，依流程顺序，设定在所需的作业温度；压上CON钮使其输送,再调整CONSPADJ旋钮并调整适当的作业速度；待温度到达所设定之温度时再将所有的PUMP钮依顺序压下即完成作业前的开机程序；放板前10分钟润湿辘轮。5.13金属蚀刻关机操作顺序依显影、蚀刻、去膜顺序依次关掉PUMP钮，关掉所有加热，热风车继续送风,观察畠刻段温度冇否升高趋势。当热风车自动停止，但腐蚀段温度没冇升高趋势时，压下STOP按钮

3、，关掉总电源POWER,将MAINSWITCH转至OFF。5.14蚀刻加工机器警报发生系统故障警报系统依停机与否分二大类：A.蚀刻停机：此项警报定义为主机或其一电器元件发生异常而无法运做或为保护人体安全而设置，如其一故障或保护条件成立便会使系统停止，须将故障或异常问题排除后再启动系统否则启动无效。B.蚀刻加工机器不停机：此项警报定义为预先警报或周边设备警报发生不会影响主机系统生产，所以界常发生本身停止运转，而不会停止主系统运转。蚀刻机器故障紧急处理方式：金属蚀刻工序步骤：当紧急状况发生是时，须先按”紧急停止“钮,憐间停止设备Z—切动作，以保安全

4、；停机后如内部尚冇板子在内时,先行确认输送系统无异常后，可用"EMGCON"钮以寸动的方式强行使输送部分运转，将板子送出；将其板子全部输送后，再将操作箱上之电源开关关闭然后再检查故障区域；依指示区检查确认故障区的警示灯是何处故障；待将所冇的故障区全部检修完毕，再开机；开机时请遵守操作顺序开机；接板时不允许冇叠板现彖。5.2不锈钢蚀刻工艺控制：5.21蚀刻加工显影段:传送速度:1.3・1.5m/min控制点:1.4m/min蚀刻显影槽温度:28-32°C控制点:30°C建浴槽温度：28-32°C控制点:30°C蚀刻药水浓度:0.8-1.1%控制点

5、:1・0%显影压力:上总压:1,5-2.5BAR控制点20BAR下总压:1.5-2.5BAR控制点20BAR蚀刻金屈产品烘干温度：80-100°C溶液更换与配制：显影槽：每天更换槽液（由建浴槽直接注入）。建浴槽：低液位予警吋配置。配置方法：建浴槽低液位予警吋，把7.5瓶500克碳酸钠倒入建浴槽（通过建浴槽滤网）然后向建浴槽注入软化水，到指定位置（500升处），启动建浴槽搅拌和加热。*显影时先做四块首板，检板人员检验合格后方能批量生产。5.22不锈钢蚀刻工序段:传送速度：内层：Hoz1.9-2.1m/min控制点:2.0m/min>1oz0.8-

6、1.2m/min控制点:1」m/min>2oz0.5-0.7m/min控制点:0.6m/mino外层：底铜，Hoz0.8-l.lm/min控制点:0.9m/min>1oz0.5-0.7m/min控制点:0.6m/min。蚀刻腐蚀温度：48°C蚀刻压力:一槽:上总压:2.9kg/cm2下总压:2.5kg/cm2二槽:上总压:3.0kg/cm2下总压:2.4kg/cm2AQUA控制器设定值（只由工艺工程师设定）S.G:1.26-1.30控制点:1.28HCL:2.50-3.50控制点:3.00H2O2:18.0-25.0控制点:20・0TEMP:4

7、0.0-45.0°C控制点:40.0°C蚀刻金屈产品盐酸和双氧水添加槽低液位时分别添加精制盐酸和双氧水不锈钢蚀刻时先做4块首板，确认无残铜并经检板人员确认后，方能批量生产。5.23不锈钢蚀刻去膜工序传送速度:1.3-1.5m/min控制点:1.4m/min蚀刻去膜槽温度:38-42°C控制点:40°C蚀刻建浴槽温度:38-42°C控制点:40°C蚀刻药水浓度:1.5-2.5%控制点:2%蚀刻去膜压力:2.2-2Akg/cm2控制点23kg/cm2蚀刻后烘干温度：70°C不锈钢蚀刻溶液更换与配置：蚀刻去膜槽:隔一天更换去膜槽约液.蚀刻腐蚀建浴槽:

8、低液位予警时配制.不锈钢蚀刻配制方法:将20瓶500克氢氧化钠倒入建浴椚,（通过建浴椚滤网），然后向建浴槽注入软化水至指定位置（500升处）启动建浴槽