ZnO透明导电薄膜制备及紫外辐照处理特性研究

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1、第47卷第5期2015年10月京航空航天大学学报NanjingUniversityofAeronautics＆AstronauticsDOt：10．16356／j．1005—2615．2015．05．008V01．47NO．5Oct．2015ZnO透明导电薄膜制备及紫外辐照处理特性研究李玉芳金磊王威(南京航空航天大学材料科学与技术学院，南沈鸿烈京，211106)摘要：zn()作为一种典型的透明导电氧化物(Transparentconducliveoxide，TC())材料，具有同氧化铟锡(Indiumtinoxide，ITO)

2、相比拟的光电性能。其原料丰富、绿色环保、易于制备、生成成本低等优点使Zn()成为最有希望替代IT()的材料。本文以玻璃为衬底，利用量子点种子层作为缓冲层，采用传统水热方法制备了低成本Zn()透明导电薄膜，采用特殊的紫外光辐照工艺对薄膜进行后处理．探索薄膜生长参数和紫外光辐照处理工艺对其透光率和导电性的影响。结果表明，紫外辐照处理不影响薄膜的透光性能。而使材料的方块电阻降低3个数量级。数值从没处理时的1．j×10。n／口降低到150n／口，极大地提高了薄膜的电导率，为Zn()薄膜材料电导率的提高提供了一个简单高效的途径。关键词：

3、ZnO纳米结构；水热法；透明导电薄膜；紫外辐照处理；电学性能中图分类号：TB383文献标志码：A文章编号：1005—2615(2015)05—0678—05HydrothermalGrowthandSubsequentUVTreatmentforTransparentConductiveZnOFilmsLiYufang，JinLei，WangWei，ShenHonglie(CollegeofMaterialScienceandTechnology，NanjingUniversilyofAeronautics＆．Astronau

4、tics．Nanjing，211106，China)Abstract：Asatypicaltransparentconductiveoxide(TCO)material，Zn()notonlyhassimilaropticalandelectricalprop盯tieswithindiumtinoxide(IT())，butalsohasotheradvantagessuchasabundantinserves，friendlyenvironment，easypreparation，andlowcost，etc．Therefo

5、reitisthepromisingmaterialtoreplaceITO。Inthispaper，thetransparentconductivefilmofZnOispreparedbythetraditionalhydrothermalmethod．Inthisprocess，thequantumdotseedlayerisusedasthebufferlayerontheglasssubstrates．Theeffectoffilmgrowthparametersandultravioletvays(UV)irrad

6、iationtreatmentonthetransmittanceandconductivityofthefilmisexplored．Theresultsshowthat，afterUVtreatment，theelectricresistivityoftheZnOnanostructurefilmisimprovedbythreeordersofmagnitude，from1．5×10jQ／口to150Q／口，whichprovidesasimpleandefficientwaytoimprovetheconductivi

7、tyofZn()thinfilms，andothermetaloxides．Keywords：Zn()nanostructure；hydrothermalmethod；transparentconductivefilm；UVtreatment；electricalproperties透明导电薄膜作为一种重要的光电材料，不仅具有高的导电性，而且在可见光范围内具有很高的透光性，且在红外光范围具有很高的反射性。透明基金项目：江苏高校优势学科建设工程资助项日。收稿日期：2015-07—05；修订日期：2015-08一10通信作者：李玉

8、芳，女，副教授，E—mail：lyf—nlsc@nuaa．导电薄膜主要用于光电器件如智能手机和液晶显示器的透明电极、触摸屏、薄膜太阳能电池的透明电极等，也可用于飞机和汽车用导热玻璃(防雾化、O南dnrO第5期李玉芳，等：ZnO透明导电薄膜制备及紫外辐照处理特性研究679防结冰