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1、實驗室名稱：電子■薄膜硏究室硏究群林俊良助理教授蘇炎坤教授陳耀煌副教授甘廣宙教授陳錫銘助理教授謝明君副教授蔡夢華助理教授硏究生張志祥、洪家偉、黎耀華、郭順和大學部專題生硏究主題1.透明導電層材料開發。2•染料敏化太陽能電池硏究。3•沉積奈米碳管技術。4.製作準直性氧化材料奈米柱。5.介電質材料沉積。主要儀器設備名稱規格購置H期單位數量網路交換器ACCTONES3524C網管式2001-12-12台2製程資料撷取系統Agilent解析度:6・1/2位數/最大輸入電壓:1000V/12種測試功能/可儲存512個讀値2003-07-03套1個人電腦HPd220/P42.4GHz/DDR266/256
2、MB/1.44MB/75GB/16XDVD-ROM/網路介面/含15MLCDTFT2003-12-08台1個人電腦AcerVeriton7700GX/Pentium43.2GHz(800MHzFSB)/17nLCD/16XDVD-ROM/512MBDDR2RAM2005-10-03台1個人電腦CPU:AMDX23620+,內建風扇,DDRII6671GRAM*2,n-ForceAM2,SATAII160G,DVDROM16X,PCI-E7300GT,ATX直立式外殼(普),ATX400W,BenQ19”LCD,USBHUB,5M網路線，多媒體喇叭，鍵盤•滑鼠(PS/2)2007-06-11台1
3、個人電腦CPUAMDX23620+,內建風扇，DDRII6671GRAM*2,n-Force2007-06-11台1AM2,SATAII160G,DVDROM16X,PCI-E7300GT,ATX直立式外殼(普),ATX400W,BenQ19”LCD*2,5PortSwitch,5M網路線，多媒體喇叭，鍵盤.滑鼠(PS/2)手動玻璃切割台聯揚90度定位+刻度標示/採用捨棄式刀輸方便更換/0.5〜2mm厚之玻璃均可使用等2004-07-20台1電鍍貫孔設備EP・PTH;A4;電鍍槽尺寸430mm*250mm*300mm（長、寬、高）；可電鍍尺寸:220mm*330mm;可電鍍孔徑:0.3mm以上
4、;電源供應器:使用電力AC110V（DC6V定電壓輸出）淀時設定：10〜60分鐘;電流設定：1〜6人2008-03-03台1真空排氣系統ULVAC含:Pumping11001/sec,口徑199mmJongaugesensor?Diramgaugesensor,port2000-12-14台1氣體流量控制器MKS10sccm/GAS:O2/SUS316氣體管路裝配/1/4”VCR接頭/管路測漏2006-07-20台1數位類比兩用型質量流量控制器LINTEC含AR100CC,02:100CC,Min,控制valvePOWERSupply,pc控制軟體,pc控制器128MB2000-12-14台3
5、真空閥件及接頭友慶真空電極*4/真空熱電偶極*3/真空氣動閥*3/電磁閥/真空管3m/氣動閥/VCR閥*102002-11-13套1一次壓裝錶顯示減壓閥銚信…次顯示250kg二次顯示25kg電子級GAS1II22006-07-20套1一次壓裝錶顯示減壓閥銚信一次顯示250kg二次顯示25kg電子級GAS:N22006-07-20套1一次壓裝錶顯示減壓閥銚信一次顯示250kg•二次顯示25kg電子級GAS:Ar2006-07-20套1一次壓裝錶顯示減壓閥銚信…次顯不250kg一次顯不25kg電子級GAS:O22006-07-20套1一次壓裝錶顯示減壓閥銚信一次顯示250kg二次顯示25kg電子級
6、GAS:N2O2006-07-20套1一次壓裝錶顯示減壓閥三大半導體抗腐蝕一次顯示250KG二次顯示25KGGAS:CF42006-07-16套1一次壓裝錶顯示減壓閥三大半導體抗腐蝕一次顯示250KG二次顯示25KGGAS:CH42006-07-16套1一次壓裝錶顯示減壓閥三大半導體抗腐蝕_次顯示250KG二次顯示25KGGAS:NH32006-07-16套1一次壓裝錶顯示減壓閥三大半導體抗腐蝕一次顯示250KG二次顯示25KGGAS:SIH42006-07-16套1電漿源產生器及周邊AEl.AERF600WPowcrSupply/2.AEDC1.5KWPowerSupply2002-07-0
7、1套1廢氣處理系統和立聯合BumningBox2.玻璃化學容器密閉系統3.恆溫槽等相關氣源進氣零組2002-07-01套1微波CVD系統工硏院微波電漿CVD奈米碳管合成設備/微波反應腔體設計與製作/氣體供應及真空零件2003-09-25套1偶合電漿CVD系統BMR腔體/電磁場強化電感式偶合電漿源/電槳、偏壓及清洗之電源供應/進氣環等2003-09-16套1雷射激發光源MeliesHe-Cd雷射光源
