专业名称：微电子学与固体电子学

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1、专业名称：微电子学与固体电子学课程编号：SOI12020702020课程名称：现代通信测量仪器课程英文名称：TestSetinModernCommunication学分：2总学时：36课程性质：跨专业选修课适用专业：通信与信息系统、无线电物理教学内容及基本要求：本课程介绍现代通信领域经常使用的测量仪器，讲授这些仪器的设计原理，使用方法，各项主要技术指标的物理含义，及目前最先进的产品现状。涉及的主要仪器有四大类，包括；1光纤通信测量仪器，主耍有光源、光功率计、光时域反射计、光谱分析仪、光纤熔接机等。2数字通信测试仪器，包括PDH误码测试仪、抖动测试仪、SDH分析仪、逻辑分析仪

2、等。3通用基础测试仪，包括数字存储示波器、精密LCR测试仪、程控直流电源、数字力•用表等。4微波测量仪器，包括频谱分析仪、网络分析仪、微波信号源、频率计、功率计、噪声系数测试仪等。考试形式：考查为主学习本课程的前期课程要求：通信原理、光纤通信、微波通信教材及主要参考书目、文献与资料：填写人：陈徳智审核人：郑正奇课程编号：S0112020809004课程名称：VLSI工艺技术课程英文名称：S订iconVLSITechnology学分：3周学时总学时：54课程性质：硕士学位基础课适用专业：微电子学与固体电子学教学内容及基本要求：教学内容：详细介绍了与硅超人规模集成电路芯片制造相

3、关的工艺技术，及与之相应的科学原理，分析了单项工艺过程的物理图象及对应的测量方法，如光刻、氧化、掺杂、薄膜淀积、刻蚀、多层金属布线等，在此基础上讨论了主要工艺模块及技术的流程及发展趋势。要求学生掌握规定的课堂教学内容，深入理解集成电路工艺技术的基木知识，了解前沿技术的发展。考核方式及要求：考试。学习本课程的前期课程要求：半导体物理。教材及主要参考书目、文献与资料：1.DistributedDatabaseSystem,清华出版社；《分布数据库技术》，科学出版社；2.《SiliconVLSITechnology:FundamentaIs,PracticcandModeling

4、》电了工业出版社3•《半导体工艺》美K.A.杰克逊主编科学出版社填写人：石艳玲审核人：郑正奇课程编号：S0112020809005课程名称：VLSI设计原理课程英文名称：PrinciplesofVLSIDesign学分：3总学时：54课程性质：学位基础必修课适用专业：微电子学与固体电子学教学内容及基本要求：一・M0S器件制程、器件模型及深亚微米尺寸下设计中的非常重耍的互连线问题；二.从电路设计的角度来分析数字集成电路基础一反相器、CMOS组合逻辑电路一静态门、动态门、时序电路（静态、动态闭锁器、非稳态电路、流水线结构NORA电路）三•逻辑电路系统设计一基于单元和基于阵列的逻

5、辑IC设计，数字电路信号完整性，算逻单元模块设计一加法器、乘法器、移位器、数据通道、ROM、RAM、FLASH等。讲授中注意将数字IC设计中电路与系统的视角统一起来，从简到繁，即从最简单的门一反相器设计开始逐步进入对各种逻辑门、存储器、控制器、加法器、乘法器和存贮器的从系统角度的设计。其次，针对深亚微米工艺下设计人员所面对的新挑战，诸如：互连线问题，信号完整性问题，时钟分布问题，低功耗问题将给出解决方案。考核方式及要求：考试。学习本课程的前期课程要求：模拟集成电路系统设计教材及主要参考书目、文献与资料：DigitalIntegratedCircuitsADesignPers

6、pective（SecondEdition）作者：JanM.Rabaey等清华大学出版社2004.3填写人：赖宗声审核人：郑正奇课程编号：S0112020809006课程名称：半导休测量技术课程英文名称：Theanalyticaltechniqueforsemiconductormaterials学分：2总学时：36课程性质：专业选修课适用专业：微电子和固体电子学教学内容及基本要求：教学内容：1、半导休结构及其表征（X射线结构分析、电子显微术）；2、半导体光学测量技术（半导体吸收光谱、发光谱、红外振动光谱、Raman光谱）；3、半导体电学测量技术（I-V/C-V测量、Ila

7、ll效应、深能级瞬态谱）；4、半导体表面分析技术（X射线光电子能谱、二次离子质谱、扫描探针显微镜）基本要求：在讲解基木的半导体测量原理基础上，结合口前微电子和光电子领域常见的半导体材料，深入分析各种技术综合应用的实例，着重于测量后数据分析、拟合以及物理模型的建立。指导学生阅读相关科研论文，冇针对性地培养学生提出问题、分析问题和解决问题的实际能力。考核方式及要求：考查学习本课程的前期课程要求：固体物理，半导体物理教材及主要参考书目、文献与资料：1.固体物理实验方法，王华馥，吴自勤主编，高等教育出版社；2.半导体物理学