理化所物理室检验设备功能简介

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1、理化所物理室检验设备功能简介2012.04BENXIIRON&STEELCO.,LTD本钢技术中心扫描电子显微镜（JSM—5600LV）生产厂商:日本电子分辨率:高真空3.5nm、低真空4.5nm放大倍数:18—10万倍加速电压：0.5—30kv投产时间:2000年特点:较大样品室、全对中样品台、高灵敏度半导体背散射探头能谱（INCA）与背散射电子衍射分析系统（EBSD）生产厂商：英国牛津能谱探头：Si(Li)探测器,液氮制冷分析范围：能量分辨率144ev，元素分析范围B—U92特点：无标样分析、快速定性分析、点线

2、面三种扫描方式EBSD探头:高灵敏CCD相机空间分辨率:0.5微米特点：能对各种晶体材料的EBSD花样进行自动化标定投产时间:2000年BXSTEEL扫描电子显微镜一体化设备概况BXSTEEL扫描电子显微镜一体化设备概况EBSD能谱仪电镜半导体背散射探头全对中样品台BXSTEEL电子束与样品作用产生的信号扫描电子显微镜是利用细聚电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。电子束与固体样品作用时会产生背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征X射线、俄歇电子。BXSTEEL入射电子二次电子俄歇电子背

3、散射电子特征X射线透射电子吸收电子样品背散射电子--固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。二次电子--在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子。吸收电子--入射电子进入样品后，经过多次非弹性散射能量损失殆尽而被样品吸收，通过接地的高灵敏电流表可以测得。透射电子--如果被分析样品很薄，就会有一部分入射电子穿过样品成为透射电子。BXSTEEL特征X射线--当样品原子的内层电子被入射电子激发或者电离时，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内

4、层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的X射线释放出来。俄歇电子--在入射电子激发样品的特征X射线过程中，如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以X射线的形式发射出去，而是用部份能量把空位层内的另一个电子发射出(或使空位层的外层电子发射出去)，这个被电离出来的电子称为俄歇电子。扫描电镜的构造及工作原理扫描电子显微镜是由电子光学系统，信号收集处理，图像显示和记录系统，真空系统三个基本部份组成。信号收集处理采用闪烁计数器进行检测图象显示记录系统是通过显象管和计算机完成真空系统是由机械泵和扩散泵完成B

5、XSTEELBXSTEEL扫描电子显微镜电子光学系统信号收集处理图像显示和记录系统真空系统电子枪电磁透镜扫描线圈样品室扫描电子显微镜的优势扫描电子显微镜的景深远比光学显微镜大，最大的优势可以不用做复型，提高了检测的效率放大倍数处于光学显微镜和透射电镜之间低真空扫描电子显微镜还可以检测导电性较差的样品BXSTEELBXSTEELX射线能谱仪的结构和工作原理利用特征X射线作为信号对样品的特定区域进行测试扫描电镜-能谱仪在产品开发中的应用BXSTEEL断口分析表面形貌微区成分定性分析微区成分的半定量分析高倍组织观察感兴趣

6、区域的点、线、面分析断口分析韧窝断口及断口上的夹杂物BXSTEEL断口分析的目的断口上记载着断裂的全过程，是失效分析中最宝贵的原始见证。断口可以表明材料性能和质量评价BXSTEEL表面形貌分析BXSTEEL冷轧板表面形貌微区成分定性分析用能谱仪对夹杂物进行定性分析BXSTEEL高倍组织观察马氏体+铁素体铁素体+珠光体BXSTEEL背散射电子衍射仪（EBSD）的结构和工作原理背散射电子衍射仪（EBSD）作为扫描电镜的附件，其基本构成为：一套高灵敏度CCD相机，一套用于电子束外部扫描控制，信号采集，衍射花样自动识别标定

7、的数据采集软件，以及数据处理和相应的几套分析应用软件。BXSTEEL样品表面相对于入射电子束需要大角度倾斜(约70度)，电子束与样品相互作用产生散射，其中一部份背散射电子入射到某些晶面，因满足布拉格条件而发生再次弹性相干散射(即菊池衍射)，出射到样品表面的背散射电子透射到CCD相机前端的荧光屏上显像，形成背散射电子衍射花样(EBSP)。EBSD的应用EBSD菊池花样包含主要信息晶体取向晶体结构BXSTEELX射线衍射仪概况BXSTEELBXSTEELX射线衍射仪的应用粉末X射线衍射的应用定性相分析定量相分析精密测定

8、点阵参数晶粒大小微观应力的测定晶体X射线衍射的应用宏观织构的测定BXSTEEL定性与定量分析物相分析是粉末X射线衍射应用得最多的方面，分定性分析和定量分析。前者把对样品测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物相的衍射数据相比较，确定样品中存在的物相；后者则根据衍射花样的强度，确定样品中各相的含量。BXSTEEL精密测定点阵参数常用于相图的固态溶解度曲线的测定。溶