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时间:2019-11-21
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1、第二部分电子显微分析一、电子光学1、电子波特征,与可见光有何异同?2、电磁透镜的像差(球差;色差;像散;如何产生,如何消除和减少)球差即球而像差,是磁透镜屮心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的,其小离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度过大。用小孔径成像吋可使球差明显减小。像散是由于电磁透镜的轴向磁场非旋转对称引起。透镜磁场不对称,可能是rh于极靴被污染,或极靴的机械不对称性,或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。色差是由入射电了的波氏或能虽的非单一性造成的。稳定加速电压和
2、透镜电流可减小色差。3、电磁透镜的分辨率、景深和焦长(与可见光),影响因素电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差來决定。(1)己知衍射效应对分辨率的影响(2)像差对分辨的影响。像差决定的分辨率主要是由球差决定的。景深:当像平而固定吋(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平而(样品)沿透镜主轴移动的最人距离。焦长:I古I定样品的条件下(物距不变),象平而沿透镜主轴移动时仍能保持物像清晰的距离范围,用D/.表示。二、透射电子显微镜1、透射及扫描电镜成像系统组成及成像过程(关系)扫描电镜成像原理:在扫描电镜屮,电子
3、枪发射出来的电子束,一般经过三个电磁透镜聚焦后,形成直径为0.02〜20pm的电了束。末级透镜(也称物镜,但它不起放大作用,仍是一个会聚透镜)上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上作光栅状扫描。通常所用的扫描电镜图象有二次电子象和背散射电子象。2、光阑(位置、作用)光栏控制透镜成像的分辨率、焦深和景深以及图像的衬度、电子能量损失谱的采集如度、电子衍射图的角分辨率等等。防止照明系统中其它的辐照以保护样詁等3、电子衍射与x衍射有何异同电了衍射与X射线衍射和比的优点:1•电了衍射能在同一试样上将形貌观察与结构分析结合起來
4、。2.电子波长短,单晶的电子衍射花样婉如晶体的倒易点阵的一•个二维截面在底片上放人投影,从底片上的电子衍射花样可以氏观地辨认出一些晶体的结构和有关取向关系,使品体结构的研究比X射线简单。3.物质对电了散射主要是核散射,因此散射强,约为X射线一万倍,曝光时间短不足之处:电子衍射强度有时儿乎与透射束相当,以致两者产生交互作用,使电子衍射花样,特别是强度分析变得复杂,不能象X射线那样从测量衍射强度來广泛的测定结构。此外,散射强度高导致电子透射能力有限,要求试样薄,这就使试样制备工作较X射线复杂:在精度方面也远比X射线低
5、。第二部分电子显微分析一、电子光学1、电子波特征,与可见光有何异同?2、电磁透镜的像差(球差;色差;像散;如何产生,如何消除和减少)球差即球而像差,是磁透镜屮心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的,其小离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度过大。用小孔径成像吋可使球差明显减小。像散是由于电磁透镜的轴向磁场非旋转对称引起。透镜磁场不对称,可能是rh于极靴被污染,或极靴的机械不对称性,或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。色差是由入射电了的波氏或能虽的非单一性造成的。稳定加速电压
6、和透镜电流可减小色差。3、电磁透镜的分辨率、景深和焦长(与可见光),影响因素电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差來决定。(1)己知衍射效应对分辨率的影响(2)像差对分辨的影响。像差决定的分辨率主要是由球差决定的。景深:当像平而固定吋(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平而(样品)沿透镜主轴移动的最人距离。焦长:I古I定样品的条件下(物距不变),象平而沿透镜主轴移动时仍能保持物像清晰的距离范围,用D/.表示。二、透射电子显微镜1、透射及扫描电镜成像系统组成及成像过程(关系)扫描电镜成像原理:在扫描电镜屮,电
7、子枪发射出来的电子束,一般经过三个电磁透镜聚焦后,形成直径为0.02〜20pm的电了束。末级透镜(也称物镜,但它不起放大作用,仍是一个会聚透镜)上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上作光栅状扫描。通常所用的扫描电镜图象有二次电子象和背散射电子象。2、光阑(位置、作用)光栏控制透镜成像的分辨率、焦深和景深以及图像的衬度、电子能量损失谱的采集如度、电子衍射图的角分辨率等等。防止照明系统中其它的辐照以保护样詁等3、电子衍射与x衍射有何异同电了衍射与X射线衍射和比的优点:1•电了衍射能在同一试样上将形貌观察与结构分析结合起
8、來。2.电子波长短,单晶的电子衍射花样婉如晶体的倒易点阵的一•个二维截面在底片上放人投影,从底片上的电子衍射花样可以氏观地辨认出一些晶体的结构和有关取向关系,使品体结构的研究比X射线简单。3.物质对电了散射主要是核散射,因此散射强,约为X射线一万倍,曝光时间短不足之处:电子衍射强度有时儿乎与透射束相当,以致两者产生交互作用,使电子衍射花样,特别是强度分析变得复杂,不能象X
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