参考论文1-郭

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1、本文主要介绍单晶硅太阳能电池片的生产工艺及检验。单晶硅太阳能电池片生产程序主要有来料检验-清洗制绒-扩散-刻蚀-去PSG-PECVD-丝网印刷-烧结-测试.通过D8测试仪,椭片仪，扫描电子显微镜，少子寿命测试仪，效率分选测试仪等测试其分析其参数.通过学习，发现各道工艺对电池的效率等参数的影响.关键词：单晶硅，太阳能电池片，生产工艺AbstractThispapermainlyintroducesthesiliconsolar-productsproductiontcchnologyandinspectionprocedu

2、res-Itsproductionmainincominginspection-cleaningsystemflocking-diffusion-etching-toPSG-PECVD一screenprinting-sintering-test.ThroughtheD8tester,directed,slice,scanningelectronmicroscope,separatingefficiencyShaoZilifetesterandtesttheanalysisofitspararneters,thestudy

3、found.Throughtheefficiencyofprocessparameterssuchasbatteries.Keywords:Monocrystallinesi1icon,solar-products,productionprocess第1章太阳能电池简介第1.1节太阳能电池的研究背景第1.2节半导体材料简介第2章太阳能电池片的生产工艺第2.1节清洗制绒第2.2节扩散与刻蚀第2.3节PECVD制备SIN薄膜第2.4节丝网印刷及烧结第3章太阳能电池片的测试方法第3.1节D8测试仪第3.2节扫描电子显微镜分析第

4、3.3节膜厚的测试与分析第3.4节数字式四探针测试仪第3.5节效率测试仪测试第3.6节各工艺对电池片性能的影响小结参考文献致谢第1章太阳能电池简介第1・1节太阳能电池的研究背景人类迄今己有400万年的历史，在这期间，人类从学会使用火开始，经过石器、铁器时代，直到近代工业化革命，各种技术发明使人类文明到达了一个前所未有的高度。同时,人类消耗的能源也口益增长，其屮煤、石油等是今天主要的能源來源今天，能源更是人类社会赖以生如图1-1所示存和发展的物质基础，在国民经济中具有特别重要的战略地位。咅业181能源相当于城市的血液，它驱

5、动着城市的运转。现代化程度越高的城市对能源的依赖越强，因为能源在维系以下重要功能：*照明*交通*餐饮*供暖图1-1能源使用分部图*降温*自动化管理系统当能源主要依靠燃烧化石燃料（煤炭、石油、天然气）而获取时，能源消耗越高，越会影响人类社会的可持续发展。一是因为大量燃烧化石燃料会带来多种环境问题（尤其是气候变化问题）,二是由于化石燃料不可再生，资源终将枯渴。1976年的世界性石油危机使人们认识到：人类资源是有限的。于是，寻找新的替代传46年石轴图1-2能源储量统能源的开发计划在世界范围内开始如图1-2所示从探明的储量分析，

6、现在地球上的石油、天然气和煤炭的总储量分别为:石油1万亿桶天然气120万亿立方米煤炭1万亿吨按照目前全世界对化石燃料的消耗速度计算，这些能源可供人类使用的吋间大约还石油45-50年天然气50-60年煤炭200-220年如果考虑到地球的人口在过去四十年增加了28亿,在今后的五十年中将再增加50亿,而且世界能源消耗量在过去的10年间以平均每年1.6%的速度增加，则现存的煤炭、石油等的可用年数述将大大缩短。人类的发展需要寻找能够代替传统能源的新型的清洁能源，其中一个重要的方而就是太阳能的开发和利用。万物生长靠太阳一一太阳的光除

7、了照亮世界使植物通过光合作用把太阳光转变为各种养分，供人们食用，产生纤维质供人们做衣服，生长木材给我们建筑房屋以外太阳的光还可以通过太阳能电池转变为电.太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容。而光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等优点，在我国西部广袤严寒、地形多样和居住分散的现实条件下，有着非常独特的作用。太阳能电池的发展历史：早在1839年，法国科学家比克丘勒（当时只有19岁）就发现一种奇特现象，即半导体在电解质溶液

8、中会产生光电效应，以此原理构成的液结太阳电池是一种光电、光化的复杂转换。1954年美国贝尔研究所的Pearson,Chapin,andFuller首先应用这个原理试制成功硅太阳电池，获得4.5%光电转换效率的成果。1958年，美国的“先锋一号”人造卫星就是用了太阳能电池作为电源，成为世界上第一个用太阳能供电的卫星•我