《集成电路测试技术基础》实验指导书

《《集成电路测试技术基础》实验指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、集成电路测试技术基础实验指导书信息工程学院微电子学系魏淑华实验守贝!J一.预习认真预习实验内容和相关理论知识，明确实验目的、原理和步骤，了解冇关仪器设备的使用方法、注意事项以及操作规程等。二实验1.按规定吋间到达实验室，遵守实验室相关的规章制度。2.实验过程中，要听从教师和工作人员的指导，认真操作和观察，如实记录各种实验数据和实验现象，不得拼凑数据或抄袭他人的实验记录。3.实验过程中，若出现仪器设备故障，应立即切断电源，停止操作，保持现场，报告指导教师。4.实验完成后，原始实验数据必须由指导教师签字确认。三.实验报告1.实验报告要求字迹工整，条理清楚，简明

2、扼要，装订整齐，要有单独的封面页。实验报告封面页需依次注明以下信息：◊课程名称：集成电路测试技术基础。◊实验序号及实验名称，如：实验一******。◊班级、姓名、学号及实验时间和地点。◊指导教师：。2.基本内容实验口的实验原理所用仪器被测器件特性实验步骤实验数据分析3.每个实验中要求的其它具体内容。实验一keithley2600系列数字源表的认知学习4实验二利用数字源表进行二极管特性参数的测试11实验三利用数字源表进行三极管特性参数的测试14实验四基于数字源表的基准电压源集成电路测试19实验一Keithley2600系列数字源表的认知学习一、实验目的1、了

3、解Keithley2600系列数字源表的特点及主要优点；2、理解Keithley2600系列数字源表开尔文测试的原理；3、掌握Keithley2600系列数字源表的使用方法二、实验原理1、Keithley2600系列数字源表主要特点及优点：2600A系列是吉时利屡获殊荣的数字源表平台的最新版木。该平台囊括了糟密电源、真电流源、DMM、任意波形发生器、电压或电流脉冲发生器，带冇测量、电气负载和触发控制功能——融所有功能于一台仪器之屮。一个紧凑的单元中综合了如下功能：精密电压源、高精度电流源、数字多用表、任意波形发生器、电压或电流脉冲发生器、电子负载以及触发控

4、制器；接触检测功能确保了高速及准确的测量；每秒10,000个读数和5,500个源-测量点记录到存储器，提供了更快速的测试；内置的测试脚本处理器（TSP"）提供非并行系统的自动化测试，将I-V测试的速度提高到同类产詁的二到四倍；2600系列提供宽动态范围：IpA到10A,IpV到200Vo每个2600系列数字源表的通道都捉供高度的灵活性、具冇电压和电流表/限制器的四象限电源。每个通道都可被设置为一个：精密电源（高达200V和3ADC/10A脉冲输出，具冇IpA读回分辨率）精确电流源数字多用表（直流电压、直流电流、电阻、电源，具有五位半分辨率）电源V或1脉冲发

5、生器（脉冲宽度：150us或更长一仅源；250us或更长一源和测量）电源V或I波形发生器（20点正弦波在TSP测试脚本中可高达400Hz）电子负载2、开尔文测试开尔文(Kelvin)测试就是通常所说的四线测试方式，四线开尔文测试的目的是扣除导线电阻带来的压降。一段30cm长导线的等效电阻大概是

6、•毫欧姆到百毫欧姆，如果通过导线的电流足够大(比如是安培级的话)，那么导线两端的压降就达到几十到上百mVo如想准确测量负载两端的电压就必须扣除导线电阻带來的压降。开尔文测试的等效电路如2FORCEV/ISOURCEDGSSENSErlIXi—IAGND图1.1开尔文

7、连接示意图其中RL等效为被测器件，通过V/I源的FORCE线为器件提供恒流，通过SENSE线测量RL两端的电压。而FORCE和AGND导线均存在等效电阻，当流经的电流较大吋，势必产生比较大的压降。由于SENSE和DGS直接接到负载两端，且输入阻抗极高，故流过这两根导线的电流可视为零，从而能精确读取负载两端电压。2600系列源表的测试就是采用开尔文测试方法，如下图：图1.2Keithley2600仪器模拟测试端口结构3、Keithley2600系列数字源表前后面板K(ITIILGYSYSTEMSourceMeterOKEITHLEYSourceMeter35

8、Model2602andModel2612123T412图1.32600系列前面板注意：2601和2611型有一个源表通道（通道A）,2602和2612型有两个源表通道（通道A和通道B）。1.特殊键和电源开关：DISPLAY：在各种源-测量显示和用户信息模式间切换。2602/2612型号选择单通道或双通道显示。CONFIG：用于功能和操作的设置。POWER：电源开关，按下时（1）打开源表，弹起时（0）关闭源表。数字键：在EDIT模式可以直接按数字键（0-9,+/-，0000）输入数值。2、源测量设置，性能控制和特殊操作：最上一行-2601/2611和260

9、2/2612型源测量设置：SRCChannelA-选择源功能（电压