防静电工作台测试指导书

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1、防静电工作台测试指导书1目的为EPA内使用的防静电工作台的综合指标提供测试方法与标准。2范围适用于EPA内使用的防静电工作台的首件检验、进货抽样和日常稽核。3定义无4职责、权限无5程序5.1测试设备5.1.1兆欧表用于测试的兆欧表应该有两档电压可供选择，分别为100V(±5%)和10V(±1%),其中100V用于测试^1X106欧姆，10V档用于测试＜1X106欧姆。5.1.2万用表。5.2测试程序5.2.1开始测试前需要将易受ESD影响的物体从待测工作台移出，对于工作台需要使用的AC系统等已经由另外一种接地系统接地，故在测试时可以保留。5.2.2检查兆欧表电极表面是否清洁，

2、如有必要可用软布沾70%异丙醇进行清洁。5.2.3工作台表面点对地电阻测试5.2.3.1将兆欧表与电极正确连接，按照图1所示将其屮一个电极接到公共接地点并将另外一个接到5磅电极，将兆欧表电压档转换到100Vo5.2.3.2将电极放到图1中的位置A然后开始测试，待读数稳定或者最长15秒后记录读数，在此测试环节中，建议将所有角落都按此方法进行测试。5.2.3.3重复以上测试方法测试位置B并记录。5.2.3.4点对地电阻标准：＞1.0X106欧姆＜1.0X109欧姆图1、T•作台表面点对地测试示意图5.2.4工作台上的物架料/物品架等的测试方法与台而测试方法一样5.2.5人体接地点

3、测试如果防静电手腕带不是直接连接到公共接地点则需要按以下程序对人休接地点电阻进行验证5.2.5.1先将万用表打到欧姆档并归零5.2.5.2按图2所示把万用表的一个表笔连接到手腕带插孔，另一个表笔连接到公共接地点5.2.5.3记录读数并按以上步骤重复测试其余手腕带连接点。5.2.5.4人体接地点标准：＜1欧姆图2、人体接地点测试示意图6参考文件ESDADV53.1-19957记录《防静电工作台测试记录表》8附件《防静电工作台测试记录表》附件：防静电工作台测试记录表防静电工作台测试记录表日期：兆欧表型号：「.作台编号：设备序列号：安装人：设备校准日期:分机：万用农型号：负责部门：

4、万用表序列号:结果：1~1Pass□Fail万用表校准日期：测试环境：温度：相对湿度：序号测试项目阻值PASSFAIL123456789101112131415161718192021222324在测试项冃中填写具体测试对彖及测试点，如“工作台表面，A点到角落1”