全球及中国六氯乙硅烷行业市场调研与发展趋势分析报告

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1、全球及中国六氯乙硅烷行业市场调研与发展趋势分析报告部分章节第一章六氯乙硅烷产业概述1.1六氯乙硅烷定义1.1.1六氯乙硅烷定义六氯乙硅烷，英文名称Hexachlorodisilane,简写HCDS,是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体。一般作为一种高纯度前体产品，HCDS在多种高级薄膜淀积（半导体存储和逻辑芯片制造技术）工艺中发挥着至关重要的作用，即在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中。图六氯乙硅烷分子式CICl—Si/CICI/Si—CICI来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月(ed)出岷幡1.1.2六氯乙硅烷

2、产品参数表六氯乙硅烷物理性质表项目值单位检测方法分子式268.86g/molCAS号码13465-77-5密度（2CTC）1.562g/cm3DIN51757沸点(1bar)144-145°CDIN51751熔点°C闪点78°CDIN51755表观无色透明液体来源：Evonik,恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图六氯乙硅烷蒸气压120,000100,00080,00060,00040,00020,000050100150温度(°C)来源：Toagosei，恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月表六氯乙硅烷产品参数项目数值级别电子级(EG)/高纯级(UH

3、P)PuritybyGC99.7%(最小值)PuritybyICP-MS99.999%(EG),99.99999%(UHP)EGMetalsPurity

4、硅烷产品分类NO.类别详细内容1高纯度级六氯乙硅烷一般纯度大于99%,主要用在半导体领域，主要用作CVD,ALD的前体。2低纯度级六氯乙硅烷一般纯度在95-98%,主要用作工业生产或者提纯来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图2015年全球不同种类六氯乙硅烷产量市场份额2015来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3六氯乙硅烷应用领域表六氯乙硅烷应用领域表NO.应用详细说明1半导体六氯乙硅烷口J以在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中,主要用作CVD,ALD的前体。2太阳能六氯乙硅烷还可以作为前体用在

5、太阳能领域3其他六氯乙硅烷还可以用在光纤，航空航天等领域。来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图全球2015年六氯乙硅烷不同应用领域销量市场份额2015来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3.1半导体行业图半导体行业举例来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1・3・2太阳能图太阳能举例来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.4六氯乙硅烷产业链结构图六氯乙硅烷产业链结构图半导体行业六氯乙硅烷太阳能行业其他来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.5六氯乙硅烷产业概述及主要地区发展现状1

6、.5.1六氯乙硅烷产业概述；n六氯乙硅烷主要作为前提用在半导体行业。目前，六氯乙硅烷的生产市场主要集中在日本、韩国、美国、德国。六氯乙硅烷属于硅烷类半导体前体，可用于半导体行业，太阳能行业，光纤等。Toagosei是世界上第一家工业化生产六氯乙硅烷的企业，所知生产工艺的改进以及下游半导体行业的发展，越来越多的厂家进入该行业，比如韩国的DNF,HansolChemical,DSUMT,美国的道康宁，德国Evonik等。目前，得益于半导体行业的发展，全球六氯乙硅烷年消费量已达100吨。1.5.2六氯乙硅烷全球主要地区发展现状表全球主要地区六氯乙硅烷发展现状主要地区/国家发展现状北美美国

7、道康宁于2015年成功扩大HCDs产能，并助力道康宁成功挤进全球半导体生产工艺关键前体领先的供应商地位。除道康宁外，AltogenChemicals也是美国本土另一个主要的供应商，其HCDs产能为300kg一个月，并于2016年推出超纯HCDSo欧洲Evonik凭借Siridion®HCDS500E（六氯乙硅烷）将在这一技术革新中受益。通过化学气相沉积工艺，作为硅源的Siridion®HCDS500E被用于超薄功能性膜层的制备，这是生产这些超细结构的关键。Siridi