PE刻蚀工作总结

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1、个人工作总结个人工作总结1概述：错误!未定义书签。所负责岗位常见异常及其处理方法：错误!未定义书签。PE3一、石墨舟的产线管控及异常问题解决方案31.石墨舟的拆卸32.石墨舟的清洗机台的使用及石墨舟的清洗32.1石墨舟清洗机的操作步骤32.2对洗舟机台槽体进行清洗32.3酸洗32.4水洗43.石墨舟的烘干44.石墨舟的组装45.石墨舟的上线检查和管控46.产线复产时石墨舟的规范使用4二、PECVD设备结构及参数认知51.装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统52.特气柜：MFC、气动阀53.特气供应系统64.温度控制系统65.真空系统：真空泵、蝶阀8三、工

2、艺参数对成膜质量的影响81.射频功率82.压力83.温度84.气体流量大小及比例对折射率的影响95.射频开关9四、导致镀膜不良一些异常因素及产线处理措施9五、PECVD镀膜的主要作用10六、工艺运行步骤10七、正常生产时的工艺分类10刻蚀11一、后清洗的目与原理11二、刻蚀中容易产生的问题及检测方法：11三、去除磷硅玻璃的目的：11四、各功能槽分布及作用12五、补液13工作过程中遇到的重大异常及排查方法案例:13一、白点返工比例异常偏高，排査方法如下：13二、单个机台返工比例持续偏高13三、各机台周期性的出现卡点及边缘发黄情况14四、导入NY工艺时电池三部出现

3、大量卡点烧焦排查方案14五、某个炉管PE镀膜后片子颜色呈现绿色（正常为蓝色）1415对所负责工序改善建议、石墨舟的产线管控及异常问题解决方案1•石墨舟的拆卸1.1将石墨舟侧躺在工作台上，对石墨舟整体进行检查，检查舟叶和销钉是否破损1.2使用力矩扳手将石墨舟上的固定石墨螺丝拧送1.3将舟正立，一端旋出石墨舟舟叶的陶瓷杆，另一端同吋插入PVC棒，注意防止陶瓷套掉落。1・4将拆卸下的陶瓷杆和螺丝螺帽分别放置于专用泡沫盒中。1.5石墨舟放入清洗槽：两手握住石墨舟两端，轻拿轻放，将石墨舟放入清洗槽2•石墨舟的清洗机台的使用及石墨舟的清洗2.1石墨舟清洗机的操作步骤1.1

4、.1打开“手动石墨舟清洗机”的电源开关和照明开关，进入电脑界面。打开电源开关和照明开关，进入电脑界面。1.1.2进入操作界面：按“点击进入操作界面”开始清洗操作。1.1.3点击进入槽体：如在1#槽体清洗，点击“1#槽操作画面”。2.2对洗舟机台槽体进行清洗向槽内放入纯水进行清洗酸槽:在1#槽操作画面中点击“1#手动模式”、“注水阀”淹没舟页，清洗完毕后按“排水阀”排空。2.3酸洗按工艺要求比例配酸，体积比为HF:H20二25%:75%,总体积为溶液刚好没过石墨舟吋的体积。若使用副槽的循环液，启动“抽酸阀”将储液槽的酸抽入到漂洗槽屮，先排掉旧液16L,再补16L

5、新酸，在配液过程屮遵循先加水后加酸原则。1.3.1配酸：配液（华林科纳）：先启动“进水阀”加水至最下一根焊条处，再启动“抽酸阀”加酸至第二个焊条处。若使用副槽的循环液，启动副槽“抽酸阀”将储液槽的酸抽入到漂洗槽第二个焊条处，再启动“抽酸阀”加酸至第三个焊条处。配液（赤诚）：先启动“进水阀”加水至至“4”刻度线，再启动抽酸阀加酸至“6”刻度若使用副槽的循环液，启动副槽“抽酸阀”将储液槽的酸抽入到漂洗槽至“6”刻度，再启动“抽酸阀”加酸至“7”刻度13.2开始酸洗：关闭“抽酸阀”和“进酸阀”，打开“鼓泡”,开始酸洗，酸洗6小时。洗配件时直接浸泡4小时。每个槽洗4个

6、石墨舟换酸。1.3.3回收酸液：冋收酸液：酸洗结束后，关闭“鼓泡”，点击“冋收阀开启”，将漂洗槽中的酸回收到储液槽2.4水洗点击“回收阀开启”关闭回收阀，点击“注水阀”、“喷淋阀”、“鼓泡”，开始水洗，用清水漂洗5-10分钟，将漂洗好的舟再用纯水清洗3小时。洗配件吋打开“喷淋阀”、“鼓泡”即可。纯水一直成流动状态。使用PH试纸检查流动的水是否为中性。3.石墨舟的烘干3.1对清洗完成后的石墨舟进初烘（风干至表面无水滴存在）3.2对石墨舟进行检查3.3对石墨舟进行烘干处理4•石墨舟的组装5•石墨舟的上线检查和管控5.1对石墨舟体进行检查并调整5.2观察新上线石墨舟

7、前10舟生产情况5.3正常生产时石墨舟的管控6•产线复产时石墨舟的规范使用对停线未使用4小时的石墨舟要进行120°烘干1.5小时或置于炉管内进行450°烘干0.5小时对停线未使用12小时以上的石墨舟进行120°烘干3小时或置于炉管内进行450°烘干1小时二.PECVD设备结构及参数认知1•装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统桨：由碳化硅材料制成，具有耐高温、防变形等性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。LIFT：机械臂系统，使舟在机械臂作用下在小车、桨、储存区之间互相移动。抽风系统：位于品片装载区上方，初步的冷却石墨舟和一定稈度的过滤残余气体SLS系统：

8、软着陆系统，控制桨的上下，移动范圉在2