《PI设备PM相关介绍》PPT课件

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1、2012年1月4日PI设备PM相关介绍一、镜头的ZOOM马达注油二、换灯三、设备的开关机目录四、设备整体清洁一、给镜头上的ZOOM马达导轨注油1、先将Stage移到左边，露出Stage下方的导轨和线性马达。7个扫描镜头线性马达（具有磁性），其对面是光栅防止stage异常滑出导轨装置2、拆下盖子。3、用油抢将油注入导轨上。注油位置4、左右旋转几下，使润滑油均匀分布到导轨上。5、通过调节小轮底座与ZOOM马达之间的距离，可调节皮带的松紧。一般情况下，每次给ZOOM马达注油时都需检查皮带的松紧，皮带不可过松，也不能过紧，要保持适当的张紧度。左右旋

2、转几下1216、合上盖子，完成注油。几点注意事项：1、stage上的位置sensor，镜头上的sensor等各种sensor最好都别触碰，以免使sensor失灵；2、stage上的线性马达具有强磁性，各种小螺丝要小心存放，避免被线性马达吸入其中而使线性马达损坏（如果有小的金属被吸入，一定要想办法取出来）；3、人在设备内部时，最好将设备显示器关闭，防止他人操作，而发生人身伤害。二、换灯1、先将如左图上的POWER开关关闭，再将如右图的POWER开关关闭。2、等2分钟左右，待内部风扇停止，拆下右图中两个光源发出装置上部的盖子。3、等30分钟待灯

3、泡冷却下来后，进行灯泡更换。注意事项：1、刚开始灯泡温度较高，注意有烫伤危险；2、换完灯泡后要将灯泡的Life清零（关闭主控制器的Power,再按白色的MODE按键切换到LAMPLIFETIME,最后同时按下UP与DOWN即可清零）；3、换完后要将镜头处射下的光调为白色（通过多次开关主控制器的Power），否则设备不能正常测试。先关闭后关闭灯泡在盖子下面三、设备的开关机有时需对设备断电停机，要按一定的顺序关闭电源：1、先关闭设备的电脑主机；2、再关闭设备各个控制模块的电源；3、最后关闭设备的总电源。开机过程与上述顺序相反。控制模块开关设备总

4、开关四、设备整体清洁1、设备的Stage上面一般不用无尘布清洁，容易将pin碰偏；用气枪由中间向边缘吹即可。2、Stage下面的导轨基座可用无尘布沾酒精擦拭，而基座上的导轨以及各种导轨要用干的无尘布擦拭。3、设备PM时，能擦得到的地方尽量都擦拭一下，以减少设备内部PT。注意事项：1、在擦拭时要注意设备内部的各个sensor，避免触碰、损坏；2、各种镜头不能擦拭；3、设备内部空间较小，作业时一定要小心谨慎。ThankYou