DB13T 1631-2012 太阳能级多晶硅锭

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1、ICS29.220K83DB13河北省地方标准DB13/T1631—2012太阳能级多晶硅锭Thesolargradepolysiliconingot2012-09-28发布2012-10-15实施河北省质量技术监督局发布DB13/T1631—2012前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准起草单位：英利集团有限公司。本标准起草人:高艳杰、王爱军、王亮。I学兔兔www.bzfxw.com学兔兔www.bzfxw.comDB13/T1631—2012太阳能级多晶硅锭1范围本标准规定了太阳能级多晶硅锭的产品质量等级、试

2、验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于太阳能级多晶硅锭。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T14141硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红

3、外吸收测量方法GB/T12963硅多晶GB/T14264半导体材料术语GB/T25074太阳能级多晶硅GB50034-2004建筑照明设计标准3定义GB/T14264界定的以及以下术语和定义适用于本文件。3.1多晶硅锭Thepolysiliconingot将多晶硅料进行掺杂，运用定向凝固法，经过高温生长的方形多晶硅锭。3.2粘锅Adhesioncrucible多晶硅料经过定向凝固出炉后，由于多晶硅锭与坩埚碎片的粘连，造成的多晶硅锭破损。3.3裂纹Crackle延伸到硅锭表面的解理或断裂，其或许没有穿过硅锭的整个高度或宽度。1学兔兔ww

4、w.bzfxw.comDB13/T1631—20123.4杂质堆积Impurityaccumulation运用定向凝固法生长的多晶硅锭，内部存在的氧化物、氮化物、碳化硅、金属沉淀等杂质团聚物或由于位错、堆垛层错等缺陷生成的微晶区域或生长中产生的裂纹、空洞等缺陷。3.5阴影比例Impurityshadowarearatio阴影比例指多晶硅锭按切割要求破块后，利用红外测试的方法观测硅块侧面，杂质堆积造成的阴影高度与有效切割高度的百分比。3.6硅锭出材率Siliconingotyield硅锭可切割成硅片用的部分重量与硅锭总重量的比值。4质量

5、等级划分4.1质量等级分为优等品、一等品、二等品三个等级。5质量等级要求5.1外观外观要求见表1。表1外观要求项目优等品一等品二等品存在不影响出材率的轻微存在影响切割的裂纹现象，影响出裂纹程度无裂纹现象裂纹现象。材率不超过20%的程度。存在不影响出材率的轻微存在影响切割的粘锅现象，影响出粘锅程度无粘锅现象粘锅现象。材率不超过20%的程度。5.2氧碳含量氧碳含量要求见表2。表2氧碳含量要求项目优等品一等品二等品18氧含量O/(atoms/cm³)O≤1.0×1017碳含量C/(atoms/cm³)C≤8.0×102学兔兔www.bzfx

6、w.comDB13/T1631—20125.3电学特性电学特性要求见表3。表3电学特性要求项目优等品一等品二等品顶部不符合要求，影响出材率导电类型全部符合要求顶部不符合要求，但不影响出材率。不超过10%的程度。电阻率ρ/(Ω·cm)1≤ρ≤1.50.7≤ρ＜1或1.5＜ρ≤20.5≤ρ＜0.7或2＜ρ≤4少子寿命τ/μsτ≥42≤τ＜41≤τ＜25.4杂质堆积程度杂质堆积程度要求见表4。表4杂质堆积程度要求项目优等品一等品二等品阴影比例δ/%≤55＜δ≤1010＜δ≤305.5出材率出材率要求见表5。表5出材率要求项目优等品一等品二等

7、品出材率η/%η≥7470%≤η＜7465≤η＜706试验方法6.1外观检验6.1.1太阳能级多晶硅锭的裂纹程度采用目测法，需要时使用分度值为1mm的刻度尺进行测量。6.1.2太阳能级多晶硅锭的粘锅程度采用目视法，需要时使用分度值为1mm的刻度尺进行测量。6.2氧碳含量检测6.2.1氧含量的检验参照GB/T1557进行。6.2.2碳含量的检验参照GB/T1558进行。6.3电学特性检测6.3.1导电类型的检验参照GB/T1550进行。需要将硅锭去除边皮测试。6.3.2电阻率的检验参照GB/T14141进行。需要将硅锭去除边皮，在同一个

8、晶粒内测试。3学兔兔www.bzfxw.comDB13/T1631—20126.3.3少子寿命的检验参照GB/T1553进行。需要将硅锭去除顶部、底部、边皮测量，取平均值。6.4杂质堆积程度检测6.4.1阴影比例使用红外