静电防护管理系统要求规范新颖版

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1、文件名：静电防护管理规范文件编号：第20页共19页静电防护管理规范文件编号：版本：V3.0生效日期：2013-03-20文件名：静电防护管理规范文件编号：第20页共19页文件修订履历版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.11、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部门CS部有√√份数1文件名：静电防护管理规范文件编号：第20页共19页1目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD防护工作具有较强的可操作性。2适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程3定义3．1静电放电（ESD）处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。

2、3．2静电敏感器件（ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。3．3静电的发生及带电3．3．1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。3．3．2静电的产生：静电的产生有多

3、种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。3．3．2．1接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷3．3．2．2感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷3．3．2．3剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电3．3．2．4摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移3．3．3静电的危害3．3．3.1对人体

4、产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。3．3．3.2文件名：静电防护管理规范文件编号：第20页共19页对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。3．4绝缘体与导体3．4.1绝缘体绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放

5、到大地，物体仍处于带电状态。如：普通塑料制品、乙烯等3．4．2导静电体导体一般表面电阻率≥102Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。3．5防静电材料定义3.5.1根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率≥1011Ω；静电耗散材料：表面电阻率≥105Ω和＜1011Ω；静电导电材料：表面电阻率≥102Ω和＜105Ω；静电屏蔽材料：表面电阻率＜102Ω；3.5.2ESD防护项目的表面电阻的要求工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子

6、等表面电阻为104—1010Ω；包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：105≤R＜1011Ω。3．6静电发生源3．6．1人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。3．6．2环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。3．6．3材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。表1常见物体的静电发生序列文件名：静电防护管理规范文件编号：第20页共19页序号材料序号材料1空气12棉布2人手13钢3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡胶6头发17镍、铜7尼龙18黄铜、银8羊毛19聚脂人造纤

7、维9丝绸20聚乙烯10铝21聚丙烯11纸22聚氯乙烯－＋3．7漏电测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压AC小于1V。3．8电子元器件的静电耐压表2一些器件类型的静电敏感电压值器件类型耐静电放电电压（V）器件类型耐静电放电电压（V）VMOS30-1800运算放电器190-2500MOSSEFT100-2