国家标准《钼条和钼板坯》GBT3462--82

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1、行业标准《离子注入机用钨材》编制说明（送审稿）一、工作简况1.立项目的和意义离子注入机用钨材主要用于制备离子注入机离子源中的零部件。它是以高纯度钨金属粉末为原料，采用粉末冶金方法制坯然后再经过轧制或锻造而成的钨材，具有高密度、高硬度、极低蒸气压、优秀的高温强度等优势，属于新材料产业“十三五”发展规划中的“稀有金属材料”高技术含量材料。从2014年的千亿扶持计划，到2015年的《中国制造2025》，中国半导体产业迎来前所未有的发展机遇，半导体行业相关的配套产业必然蓬勃发展。作为半导体行业的关键设备，离子注入机的需求也快速增长。离子源是离子注入机中最核心的部件，主

2、要由各种钨钼制品组装而成。这些钨钼制品，属于设备中的易损件，需要定期更换。经市场调查，2017年离子注入机用钨材的需求量为70吨以上，后续将以每年30%左右的比例持续增长。离子注入机行业对于钨材（主要是钨板和钨杆两类）的性能要求非常高，尤其是产品的化学成分、密度、硬度以及尺寸公差等指标直接关系钨材的加工质量和使用寿命。目前《GB/T3875-2017钨板》和《GB/T4187-2017钨条和钨杆》的要求在化学成分、密度、硬度、尺寸精度以及包装方式等方面，均不能很好地满足离子注入行业对于钨材的严苛要求。2010年前，该行业用钨材主要从国外进口。2010年左右，国

3、内钨制品企业纷纷开始开发离子注入机用钨材，现在国产钨材的市场占有率正在快速攀升。国产钨材快速增长的同时，也暴露出了很多现实问题，由于缺乏明确的行业标准，各家的产品品质良莠不齐，造成了很差的客户体验，不利于离子注入机用钨材的国产化进程。因此，在国标《GB/T3875-2017钨板》和《GB/T4187-2017钨条和钨杆》不能满足行业要求以及国内钨材产品品质良莠不齐的大背景下，尽快制定离子注入机用钨材的行业标准，显得尤为紧迫和重要。通过制定行业标准《离子注入机用钨材》，对规范其生产、使用、贮存和运输，引领钨金属业不断发展，在行业内形成产业优势具有重要的指导意义。

4、同时，对钨金属加工领域实施“中国制造”或“中国创造”的飞速发展，促进我国钨金属产品在国内外市场上的竞争和产品出口，具有极大的政治意义、社会效益和经济效益。92.任务来源及计划要求根据中华人民共和国工业和信息化部下发的工信厅科[2018]31号《关于下达2018年第一批协会标准制修订计划的通知》的文件精神，行业标准《离子注入机用钨材》（YS/TXXX－20XX）的制定工作由厦门虹鹭钨钼工业有限公司负责起草，计划编号为2018-0579T-YS，项目完成年限为2020年6月。3.起草单位情况厦门虹鹭钨钼工业有限公司是一家成立于1992年的中韩合资国有控股企业，注册

5、资金20900万元人民币，是上市公司厦门钨业股份有限公司的核心成员，首批国家高新技术企业，拥有国内钨钼加工行业首家企业博士后工作站，与中科院金属研究所联合成立了稀有金属加工实验室，同时依托国家钨材料工程技术研究中心开展钨材料技术开发与储备工作。公司主要从事钨、钼等难熔金属的棒材、杆材、丝材、深加工制品等的研发与生产，产品广泛应用于电光源及电真空、半导体及电子技术、航空航天及汽车工业、工业窑炉、机械制造及焊接、3C及核工业等多个领域。公司注重钨钼新产品的开发和新应用领域的开拓，依托厦门钨业集团“钨矿山－冶炼－深加工”完整的钨加工产业链优势，坚持以市场为导向，以质

6、量为核心，以技术进步和科技创新为手段，规范企业管理，完善企业制度，以“团结拼搏创新高效”的企业精神，打造“国际化的、领先的、专业的钨钼及粉末冶金制品企业”。公司从2007年开始研发离子注入机用钨杆和钨板，并于2010年通过了客户的认证，目前已实现批量供应大陆、台湾地区和日本等客户，国内外客户反馈使用效果良好。4.主要工作过程4.1起草阶段（1）2018年8月,在宁夏回族自治区银川市召开任务落实会,确定该标准起草单位为厦门虹鹭钨钼工业有限公司、西安瑞福莱钨钼工业有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、成都联虹钼业有限公司，并成立编制组，确定了编制组各成员的工作任务与

7、安排。（2）2018年8月底,在接到标准制定任务后，初步确定了工作计划和进度安排,填写了“推荐性行业标准项目任务书”。收集、整理相关文献资料，形成了行业标准《离子注入机用钨材》汇编工作的整体工作思路。（3）2018年9月～12月，编制组进行了调研工作。通过技术查询、市场调研、同行及客户沟通等方式详细了解离子注入机用钨材9的生产状况、技术指标及应用发展趋势，在进行了广泛沟通和深入讨论的基础上，确定了标准修订的原则。（4）2019年1月～2月，厦门虹鹭钨钼工业有限公司及相关参与单位根据收集的资料、调研结果进行了建议汇总处理，对草案稿进行修改，形成了行业标准《离子注

8、入机用钨材》（征求意见稿）并撰写了编制