特气系统日常、年度维护检查表

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1、实用文档特气系统日常维护记录表文件编号:JSDG-04-09-712-A维护时间　维护人员　维护措施记录序号维护简要步骤及数据规范数据和状态记录异常情况处理记录1检查气柜排风系统,调整风量到30-50Pa　　2检查放空N2的流量，调整为0.25-0.35M3/H　　3检查CDA压力，调整到70-90PSI　　4检查气柜系统压缩空气、N2接头是否完好,如损坏漏气需更换　　5检查房门过滤网能否保持空气流通通畅,否则清洗或更换　　6对气柜盘面阀件、管路、钢瓶接头、管路接头进行检查有无锈蚀、穿孔现象　　7用相应毒性、易

2、燃易爆气体检测仪对气柜盘面管路接头处进行检测，有无泄漏　　8检查紧急关断是否能正常工作　　9检查特气房内是否为负压。若不是进行调整　　10打扫特气系统卫生　　11　　　大全实用文档12　　　更换备件记录　序号料品名称数量1　　2　　3　　说明：维护到其他项目时加在“维护简要步骤及数据规范”并记录审核人：审核时间：大全实用文档气柜气体出口压力停供和复供前记录表文件编号:JSDG-04-09-713-A气柜名称气体名称输出压力规范气体停产前二次压力（PSI）气体复产前二次压力（PSI）HCL-1HCL35-45PS

3、I　　HCL-2HCL35-45PSI　　CL2CL225-35PSI　　NF3NF340-55PSI　　HBrHBrr35-45PSI　　NH3-1NH345-60PSI　　NH3-2NH340-50PSI　　SIH4-1SIH440-55PSI　　SIH4-2SIH440-55PSI　　15%PH3/SIH4-115%PH3/SIH440-55PSI　　15%PH3/SIH4-215%PH3/SIH440-55PSI　　BCL3-1BCL34-8PSI　　BCL3-2BCL34-8PSI　　SIH2CL2S

4、IH2CL24-8PSI　　Ar-1Ar60-80PSI　　Ar-2Ar45-65PSI　　He-1He65-80PSI　　He-2He55-70PSI　　大全实用文档N2ON2O50-65PSI　　SF6-1SF645-55PSI　　SF6-2SF645-55PSI　　CO2CO240-50PSI　　C2F6-1C2F640-60PSI　　C2F6-2C2F655-70PSI　　CHF3CHF340-55PSI　　CF4CF440-60PSI　　记录人记录时间：审核人：审核时间：大全实用文档VMB/VMP气体

5、出口压力停供和复供前记录表文件编号:JSDG-04-09-714-A序号VMB/VMP序号气体名称输出压力规范（PSI）气体停产前压力（PSI）气体复产前压力（PSI）1VMP01He15-25　　2VMP02Ar25-35　　3VMP03C2F620-30　　4VMP04SF620-30　　5VMP05CHF315-25　　6VMP06SF625-35　　7VMP07CF425-30　　8VMP08CF425-30　　9VMP09He25-30　　10VMP10C2F625-35　　11VMP11N2O35-

6、45　　12VMP12Ar10-20　　13VMB01CL210-20　　14VMB02HBr20-30　　15VMB03NF325-35　　16VMB04NH325-35　　17VMB05SIH425-35　　18VMB0615%PH3/SIH425-35　　大全实用文档19VMB07HCL15-25　　20VMB08NH320-30　　21VMB09HCL15-25　　22VMB1015%PH3/SIH420-30　　23VMB11SIH420-30　　记录人：记录时间：审核人：审核时间：大全实用文档气柜/

7、盘面保压检查表文件编号:JSDG-04-09-715-A序号气柜/盘面名称气体名称保压压力检查压力1234567891011121HCL-1HCL　////////////2HCL-2HCL　////////////3CL2CL2　////////////4NF3NF3　////////////5HBrHBrr　////////////6NH3-1NH3　////////////7NH3-2NH3　////////////8SIH4-1SIH4　////////////9SIH4-2SIH4　/////////

8、///1015%PH3/SIH4-115%PH3/SIH4　////////////1115%PH3/SIH4-215%PH3/SIH4　////////////12BCL3-1BCL3　////////////13BCL3-2BCL3　////////////14SIH2CL2SIH2CL2　////////////大全实用文档15Ar-1Ar　////////////16Ar-2A