基于干涉条纹的激光准直技术的研究

《基于干涉条纹的激光准直技术的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、一k“．72刨一⑧天睾大薯硕士学位论文^—嘲●嘎际-昌省■■■n】i学科专业：测试计量技术及仪器作者姓名：周欣指导教师：赵美蓉副教授中文摘要随着现代科技的发展，对各项几何参数的测量精度要求越来越高。直线度作为形状误差的要素之一，直接影响仪器精度、性能、质量，在有些场合，甚至是决定网素。因此直线度误差的测量是一项最基本也是最重要的测量。利用激光的波长稳定、相下性强、方向性好等特点制造的激光准直仪在直线度测量领域发挥着很大的作用。但激光束在大气中的准直还是受很多因素的影响而使得激光准直仪的精度难以提高。在

2、不断追求更高测量精度的探索中，科研工作者采取了各种有效措施和新方法来克服在准直测量中遇到的诸多不良影响因素。本课题通过研究激光准直技术的发展现状，分析不同类型准直技术的优缺点，在总结前人经验的基础上，提出了一种基于干涉条纹的激光准直新技术。本测量系统利用半导体激光器发出的激光，经准直扩束后照射到楔形平板上：利用楔形平板上下表面的反射作用，将这束激光分解为交角2口的交叉光束，在这两条平行激光束交叉的范围内便产生干涉条纹。将此干涉光作为准直测量的基准，用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上：检测接收靶

3、处于被测导轨任-N量点时干涉条纹在接收靶上的位置，便可得到该测量点与准直光束的偏移量。本课题运用现代电子技术、光学技术、传感和微处理机技术的最新成果，制作光学测量系统、信号接收系统及单片机系统。采取多种必要措施，提高信噪比，优化软件系统，力求提高仪器测量精度。通过系统重复性实验、与光电白准直仪的比对实验及空气扰动实验，结果表明，样机的性能、指标基本达到了预定目标。关键词：激光准直干涉条纹线阵CCD直线度ABSTRACTWiththedevelopmentofmodemscienceandtechnol

4、ogy,peoplecallforahighermeasurementaccuracyofgeometricparameterBeingafactorofshapemeasurementerror，straightnesscanaffecttheaccuracy，performanceandqualitydirectly．Insomewayitevencouldbethegoverningfactor．Therefore，straightnessmeasurementisthemostbasicand

5、importantmeasurement．Utilizingitswavelengthstabilization，strongcoherenceandwelldirectionalproper【y,lasercollimatordisplayaprodigiouseffectintherealmofstraightnessmeasurement．Buttheaccuracyoflasercollimatorishardtoincreasefortheinfluencetolaserbeaminthea

6、tmosphere．Inthecontinuousresearchforhighermeasurementaccuracy,scientiststakevariouseffectivemeansandnewtechniquetoagainstthedisadvantagefactorsmetinstraightnessmeasurement．Thedissertationstudieshistoryandactuality,anditanalysesandcomparesthemeritsandsho

7、rtagesofmanykindsoflasercollimation．Withreferencesofothers’production，weputforwardanewmethodoflasermeasurementsystembasedoninterferencefringe．Aftercollimatedandbroadened，thesemiconductorlaserbeamexposureonthewedge—shapedplate．Becauseofthereflectiononthe

8、twosurfacesofthewedge—shapedplate，thelaserbeambecometwocrossbeamsof2acrossangular．TheinterferencefringeappearsinthecrossregionofthetwobeamsMakethisinterferencebeamtobethemeasuringbasis，andfixthelinearCCDonthereceivingtarget．Detec