浅谈半导体企业之环境风险评估及风险防范措施

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1、浅谈半导体企业之环境风险评估及风险防范措施【摘要】人类社会一路从原始社会走来，经历了渔猎采集时代、农业文明时代以及如今的以信息为主导的工业文明时代，现代生活已经越来越离不开半导体，半导体己成为人类文明社会的必需品。同时，半导体行业也已经成为国家产业结构调整中鼓励类产业。而在半导体的牛产过程中，需要使用不同种类各种形态及特性的化学品，其中不乏AsH3、PH3、C12等剧毒化学品，如何确保半导体生产企业在使用、储存、供应以及处置化学品过程中有效管理，从而使其风险得到有效控制，避免海力士半导体火灾、高雄气爆、812天津爆炸等事故发生，本文将着重从探索风险分析方法，评估

2、半导体企业的环境风险等级，据此提岀相应的风险防范措施,使半导体企业能不断符合更新的国内及国际法律法规，为不断发展的半导体生产企业的发展及持续经营开辟一条安全而畅通的道路。【关键字】半导体、风险、应急、预防1半导体企业环境风险评估方法探索半导体产品制造的过程中涉及氯气、神化氢等有毒有害的化学品和多种酸碱类腐蚀品，存在着环境污染、健康危害等风险隐患，因此对半导体工厂生产运营进行风险评价显得尤为重要。风险评价常见的的方法有ETA（事件树分析）、FTA（故障树分析）、FMEA（故障模型与影响分析）等，本文将根据环境保护部办公厅新出台的《企业突发环境事件风险评估指南（试行

3、）》（环办[2014]34号），以下简称《指南》，对半导体企业的环境风险进行分析，进而提出对半导体企业环境风险管控的建议，控制半导体企业所带来的环境风险。1.1半导体企业环境风险评估通过矩阵法对企业突发环境事件风险（以下简称环境风险）等级进行划分。1.1.1环境风险物质数量与临界量比值（Q）半导体企业在生产的过程中会用到许多的气体化学品作为制程或者辅助制程使用。半导体企业所涉及的环境风险物质主要包括：生产原料、燃料、“三废”污染物、辅助生产原料，目前主流产品为经过简单电路测试的8英寸或12英寸晶圆，在此过程中没有中间产品及副产品。因此半导体企业在计算环境风险物质

4、数量与临界值比值时，主要计算危险类原辅材料在厂区内的最大储存量加上在线量与相对应的物质的临界量的比值，一般半导体企业所使用的原辅材料屮，涉及《指南》附录B所列突发环境事件风险物质清单的主要为：氯气、氢气、磷化氢、氨、丙酮、硅烷、异丙醇、磷酸、硝酸、氟化氢等，这些原物料多通过气体钢瓶或者化学詁桶方式储存，但是一般均为一用一备，储存量不大，因此，一般半导体企业的Q值计算为〈1或者1WQ〈10。1.1.2生产工艺与环境风险控制水平（M）根据《指南》要求，M的确定方法为采用评分法对企业生产工艺、安全生产控制、环境风险防控措施、环评及批复落实情况、废水排放去向等指标进行评

5、估汇总，确定企业生产工艺与环境风险控制水平。因此，对半导体企业的分析得到的评估指标及分值估分为27分。由此也可得出半导体牛产企业的工艺与环境风险控制水平值（M）的风险控制水平处于《指南》中所列的M2（25WM〈45）水平。主要为（1）生产工艺半导体工厂在生产工艺方面会用到许多易燃易爆的化学品，如IPA,丙酮等，以及输送这些化学品的压力管道，以及在辅助设施所用到的天然气管道、压缩空气等。因此，工艺部分分值得分主要集中在“其他高温或高压、涉及易燃易爆等物质的工艺过程”，扣分值为20分。（2）安全生产管理半导体生产大多为2000年后建立起來，其在建厂初期关于安全评价等

6、做的还是较为正规，从起初的安全预评价到验收评价以及冃前正在推行的现状评价，以及作为高资产保护的企业，消防方面的验收也均按照要求完成；另外，目前大部分半导体企业已经完成安全生产标准化（二级），因此，对于安全控制方面，半导体企业一般均能达成《指南》屮所罗列的要求，因此安全生产管理并未冇扣分分值。（3）环境风险防范控制与应急措施半导体企业在截流措施、事故排水收集措施、清净下水系统防控措施、事故排水收集措施、雨排水系统防控措施、生产废水处理系统防控措施、毒性气体泄漏紧急处置装置、毒性气体泄漏监控预警措施以及环评及批复的其他风险防控措施落实情况等能按照《指南》中要求进行，

7、因此此部分也未有扌）1分项。（4）雨排水、清净下水、牛产废水排放去向半导体企业一般处于工业区，企业雨排水、清净下水、生产废水排放去向去向一般为“进入城市污水处理厂或工业废水集中处理厂(如工业园区的废水处理厂)”，因此，此处扣分分值为7分。1.1.3环境风险敏感性(E)半导体企业大多都位于工业园区或经济技术开发区内，如中芯国际上海有限公司、华虹宏力位于张江高科技产业园区、上海新进位于漕河泾技术开发区等，但也有些受限于工业区本身所处的位置有特殊性，因此不可避免有出现企业雨水排口、清净下水排口、污水排口下游10公里范围内有有一些环境风险受体，因此，可以将半导体厂的环境

8、风险受体主要划分为类型1