洁净室调试方案论文

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1、洁净室调试方案XX公司XXX提要：介绍了洁净室的测试项目及步骤，目的使其测试数据满足设计参数，达到生产需求条件。关键词测试步骤测试项目CleanroomtestingandcommissioningprojectYoung'sEngineeringCompanyLtdLiMingGangAbstractintroducethecleanroomtestingitemsandprocedure,ToProoftheequipmentfulHllmanufactorystandardanddesignCondi

2、tion.Keywordstestingproceduretestingitems在测试洁净室之前，若是能对洁净室测试规范有所了解，能够对测试有所帮助。但每一种行业，每一家公司对洁净家的要求可能不一样，各公司在制定定测试规范时，应依照自己的制程要求，从规范里取出自己适用的部分，耍求供应商与测试单位照办，必要时可酌情修改测试的标准，以满足自己的需求。一洁净室常用名词1.洁净室定义：洁净室是一个为了对空间空气的微粒做控制，所建造的特殊封闭建筑。2.微粒控制：洁净室微粒控制第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完

3、整分析，然后针对分析结果，制定恰当的微粒控制方案与洁净室管理模式，以控制微粒污染，粒径和其数量对制程影响是有用的数据。3.外来污染源：从洁净室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门•窗•墙壁裂缝等也是外来污染源。4内部污染源：洁净來内部污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重污染源是操作员工。5层流型气流：气流以同一方向移动，这种无尘室称为层流型洁净室。一般高洁净度的洁净室需要层流型气流。6乱流型气流：气流方向不受控制，这种无尘室称为乱流型洁净室,洁净度低要求可用乱流。二.调试

4、人员必须经过洁净室等级培训的人员，并且有两年以上的工作经验。三.调试工具1.BCJ—1型尘埃粒子记数器(0512—6291193)。2.电子式温湿度计TES—1360o3.水银干湿球温度计。4.照度计TES—1330/1332/13345・风速表(热反应风速计用与低速)6.噪音表7.微差压计8.电流表9.万用表10.高压冲水枪11・绝缘表二、调试步骤(一)准备工作1.熟悉图纸核对各项设备铭牌与设备表是否相符。2•清楚调风阀，调水阀，排气阀，泄水阀，各项设备安装位置。清楚各项管道布置与图纸是否相符。3.清楚楼

5、宇控制方案，控制等级。温湿度传感器及各项控制元件安装具体位置。4.熟悉各个配电箱安装位置，控制图纸。校核接触器型号,线径及过载器范围。(二)测试步骤1.风系统开机前需保证无尘室清洗工作必须完成，风管清洗必须完成。空气处理机清洗必须完成，确保每一个风阀处于全开状态，中初效过滤网安装完毕，然后调整风阀使每一个风口都有风岀。2.水系统(1)水泵，水塔启动使冷冻水，冷却水水管充满水，末端连通•启动冷动泵，冷却泵,水塔风扇使设备达到额定，流量，扬程，电流。(2)管道a•加清洗药，除去油污，焊渣，并清洗过滤器b.加成膜

6、药(1)启冷冻主机，热泵机a.检测机组是否自动加减负荷b•检测机组满负荷运转，能否达到设计水温1.空气压缩机乩确保空气压缩管道试压成功无泄漏，用氮气吹洗管道。b・压缩机散热①水冷管道必须完成②风管散热必须完成C.除湿机。干燥过滤器，稳压罐，压力控制器，安全阀全部调试完成。保证压缩出的气体是高压，干燥的气体。2.楼宇自动控制a）必须保证配线，接线的测试工作完成b）保证控制元件的安装完成C）配合控制厂家调试并检试程序是否正确。温湿度控制是否准确,做好调试报告。3.洁净室检测空气处理机开机大约一星期后，然后安装H

7、EPA（高效过滤器）。运转三天后再进行检测。—、范围：洁净项目与业主合约有规范者，依其规范办理，若与业主合约无规范者，可按下例项目测试。（表一）项目测试AS-BULITATRESTOPERAT30N备注项目CLASSCLASSCLASS1.10100」K10K100Kl」0100.IK10K.I00Kl」0100.1K10K100KA风速，风量测试O0o+-20%B气流平行度0Oo少于14度C室压核测000A—————标定D滤网泄漏检测0无泄漏E洁净度测试0Oo———AAA标定F噪音检测000———AAA标

8、定G温湿度测试AAA标定H温湿度均匀度测000标定I照度检测000AAA标定0必须做a参考做一不包括C.风A风速风量测试1•测量点距离HEPA约为30cm,距离外框约为30cm。1.每片滤网至少测2点，取平均风速做为HEPA面风速依据。2.每点量测〈t$5秒〉取平均值3.风速标准0・35m/S〜0・69m/S（具体见规范）4.风量标准二平均风速*HEPA有效面积。5.洁净室整体之平均风速及风量应在设定值±20%范