微光学研究及其应用

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1、［论文题目］1摘耍：1关键词：1TheResearchAndApplicationOftheMicroOptics1Abstract:1Keywords:10前言21微光学主耍内容21」梯度折射率光学21.2二元光学32微光学器件42.1阵列光学器件52.2衍射光学器件52.3三维集成光学器件62.4自聚焦透镜63微光机系统及其应用73.1微光机电系统73.2微光机电系统的特点73.3微光机电系统精确控制方面的应用83.4微光机电系统在军事领域和空间的应用93.5微光机电系统的应用前景和展望114微光

2、学集成探测器114.1微光学集成探测器原理114.2结构设计124.3微光学集成探测器展望125微光学的加工方法125.1光刻方法125.2蚀亥IJ方法135.3超精密机械加工技术146结论15参考文献15微光学研究及其应用摘要：本文主要概括了微光学的主要内容以及应用现状和前景。微光学技术是90年代发展起來的光电前沿学科，是光电技术阵列化、微型化、智能化的主要发展方向。由于微光学技术的迅速发展，促进了微光学元件在实践屮的应用，木文通过对阵列光学元件、衍射光学器件、三维集成光学器件、自聚焦透镜的描述，介

3、绍了微光学器件的研究、应用及加工方法。微光学近代发展方向有微光学与微机电结合成微系统以及微光学探测。微光机电系统（MOEMS）是近儿年在微机电系统（MEMS）中发展起來的一支极具活力的新技术系统，它是由微光学、微电了和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。对于微型以及微弱探测，本文提出一•种微光学集成探测器。微光学将给传统光学、传统工业带來根本性的变化。关键词：微光学微光学器件微光机电系统微光学集成探测TheResearchandApplicationoftheMicroOpticsAbstr

4、act:ThisarticlemainlysummarizesthemajorcontentoftheMicroOpticsaswellasitscurrentsituationandprospect.TheMicroOpticswasdevelopedintoaforwardsubjectofOpticsinthe1990'sandithasbecometheprincipaldirectionsofanaying,micromationandintelligentizationoftheoptic

5、stechnology.TherapiddevelopmentoftheMicroOpticshasstimulatedtheapplicationofthe・Thisarticlewillintroducetheresearch,applicationandmanufacturingmethodofthemicroopticsdevicethroughthedescriptionofarrayedopticsdevice,diffractionopticsdevice,3Dintegratedopt

6、icsdeviceandauto-focusinglens.TheMicroOpticsdevelopstowardstwodirection,-themicro-systemincorporatedbytheMicro-OpticsandthemicromechanicsandtheMicroOpticsScanning.MOEMSisaveryvigorousnewtypeofthemicroopticsstructuresystemwithafewyears'originincorporated

7、bytheMicroOptics,theMicroElectronicsandtheMicroMechanics・Andanewmicroopticsintegratedscannerwillbeintroducedinthispaperintheaspectofmicromationandmicroscanning・Themicroopticswillbringthefundamentalchangestothetraditionalopticsandindustry.Keywords:MicroO

8、pticsmicroopticsdevicemoemsmicroopticsintegratedscanner0前言⑴近年来随着微电子学和光电子学的快速发展，微光学这一新的学科领域的研究正在兴起。微光学是研究一维、二维和三维的小型化光学器件和系统的一门高技术。它涉及到材料研制、设计、精细加工、器件集成以及用其实现光束发射、聚焦、准直、偏折、分割、复合、开关、耦合、接收等功能和光纤传感、光学信息处理、成像系统、光通信、光计算、光互连、光盘、光学神经网络和生