抽气系统施工规范(简体)

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1、1.工程名称：盐城维信抽气二次配2.工程地点：维信全厂区3.工程范围及接口：3.1工程范围：维信股份公司（以下简称甲方）盐城厂区软板生产等有关机台之抽气系统二次配工程。3.2承揽商（以下简称乙方）负责其抽气二次配之配管施工、修改、测试调整、验收、功能运转及竣工及所有相关文件。3.3.工程接口：8”，所以机台之3.3.1机台端POU

2、之分离要，应设置液气分离器。FACSYSTEMHookupscope<

3、^Equipmenttsnpura乏aEquipmentVO風量檢測孔Icd图一、机台端POU<®f单线示意图热风镀锌铁管所使用风量检测孔,PP风管需使用PP材質风量检测孔。3.3.2机台端POUN8吋:机台之POU=8时,主风管之既设”风门配管衔接设备端风门,风门再衔接一短管后与制程设备连结，并于短管增设风量检测孔及静压量测用考克。机台之POUF时，需于主风管开Tee并衔接系统端风门,后配管衔接设备端风门,风门lonpuraIAI如图三所示，主风管之”阀门衔接”合流管（a部分）,”合流管分接各支管,再衔接一短

4、管后与制程设备连结，并于短管增设风量检测孔及静压量测用考克。如管内有冷凝液之分离必要，应设置液气分离器。如金属管有排水需求，需于底部加装排水盒。Coating风管不可开Tee,应选用Coating之三通进行衔接施工。FACSYSTEM4■图二、机台端POU^8吋单线示意图3.3.3同一机台POU多点，且如图三a合流管总风量C^18CMM时:各支管渐缩至设备所需管径后，配管衔接风门，风门再衔接一短管后与机台连结，并于短管增设风量检测孔及静压量测用考克。如管内有冷凝液之分离必要,应设置液气分离器。FACSYSTEM<图三、同一机台POU多点，且Q^18CMM时单线示意图3.3.4同一机

5、台P0U多点，且①18CMM时：同一机台P0U多点，且C^18CMM时，其施工方式先行将P0U废气量计算，将合流管分为多管,其每支之废气量需小于18CMM,其施工方式同3.2（同一机台P0U多点,且®18CM时之施工方式）3.3.5机台附属设备至主设备端配合设备需求，进行附属设备（真空泵）配管至主要制程设备。图四、机台附属设备至主设备端单线示意图3.3.6抽气罩3.3.6.1依维信需求就指定站、槽制作抽气罩，其主要形式说明如下搭配之Hookup配管需包含调节风门、风量检测孔及静压量测用考克。图五.A、上方吸引型图五.B、侧边吸引型FACSYSTEMHookup配管工程图五.C、包围

6、/岗亭式3.3.6.2各类气罩之最低控制风速(Vc)需求标准a.包围型气罩VcN0.4m/sb.外装型气罩侧边吸引型VcN0.5m/s下方吸引型VcN0.5m/s上方吸引型VcN0.8m/sc.控制风速(Vc)为污染源产生废气时，可将废气抽至气罩凸缘处称之。3.4施工范围从厂务系统端takeoff阀件接至制程设备。包含管路设计规划，每点包含从厂务系统端takeoff阀件接至制程设备所需之管件，如管路、弯头、大小头、转接头、三通、管支撑、阀门、皮直管量测孔及静压表考克等皆包含于本工程范围。3.5配管原则：以takeoff阀件对应一个机台，若机台有多点接头视主系统默认流量配置决定主系统

7、接点数，厂商需依照附件数据做最适当之分配设计，若有不当设计将被要求重新施工。如为单一takeoff点对应一设备，则计价方式依设备端衔接尺寸计价，如为一takeoff点对应多点接口或设备，分流管风量总和不得大于合流管。开口数(PC)管径(吋)10"8”6"5”4"2粉■10"1■■■■■■8"11■■■■■46“211■■■■32114"54211■■3"973211■2”201586321Exhaust分流管径开口数对应速算表3.6施工过程中禁止破坏地面，严重损坏地面需负起赔偿复原责任•3.7固定加规范配管工程管径1/2”~2”以1.5M,角钢不得小于50*3.0mmo、2-1/2

8、”~3”以2M,角钢不得小于50*3.0mmo、4”~6”以3M、8”~10”以3.5M作一固定架，湿制程及厂房外固定架以〉50x50x3.0mmSUS-304材质角钢焊制施工，其他场所以镀锌角钢制作之。弯管处、分歧处、阀处及特别指定处加装固定架。直立之管路，管架间之最大距离，不得超过2公尺，且需注意其防震支撑。3.7.1固定架角钢切割后需去除角边，不可有尖锐现象。3.7.2焊制固定架组必需当日完成去焊渣及除锈防锈工作。3.7.3天花板管路固定架不得使用葫芦束及3/8