触摸屏生产工艺核心技术之黄光工艺

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1、黄光制程简单介绍辉煌数载感谢有你目录Whattodo？要做什么？Howtodo?怎么做？What’sthematter?怎么了？当前市场上主要的触控屏种类电阻式电容式红外线式表面声波式就是它了……当手指触摸屏表面时，就会有一定量的电荷转移到人体。为了恢复这些电荷损失，电荷从屏幕的四角补充进来，各方向补充的电荷量和触摸点的距离成比例，我们可以由此推算出触摸点的位置电容式触控屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层ITO（镀膜导电玻璃），最外层是一薄层矽土玻璃保护层,ITO涂层作为工作面,四个角上引出四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好

2、的工作环境。ITOMetalPI透明导电材料光阻绝缘层Mo/Al/Mo结构有一种东西叫：我们的目标是：让Sensor在X和Y方向上各自独立地导通1.任何触控屏，要对Touch这个动作作出反应，必须对触摸点进行定位；2.TPK产品是一个二维平板，需要X和Y两个坐标进行定位；3.TPK产品属于（投射型）电容式触控屏，感应电容触摸屏检测到的触摸位置对应于感应到最大电容变化值的交叉点，对于X轴或Y轴来说，则是对不同ITO模块的信号量取加权平均得到位置量，系统然后在触摸屏下面的LCD上显示出触摸点或轨迹。Sensor认识一下Sensor图中网状图形称为pat

3、tern返回金手指黄线部分称为Trace浅色部分在X方向上导通深色部分在Y方向上导通放大当前主要的技术路径BridgeViahole正制程：PatternPIJumper（＋Trace）反制程：JumperPIPatternTrace结果是等效的来料玻璃常见尺寸：370×470mm厚度则有0.33、0.4、0.5、0.55、1.1、1.3mm不等Sheet粗略的生产流程：pcs一路OKBoding、贴合等白光制程最终成品！黄光制程：来料玻璃ITO、Metal、PI制程Passivation（Organic）蚀刻膏印刷/可剥胶印刷切割黄光制

4、程到此结束作出所需的图形为Sensor提供第一层保护为黄光后的工序作准备黄光制程由此开始什么是黄光？光阻塗佈曝光顯影烘乾清洗整个制程的相关示意图-1PI和Passivation制程只需到这一步微影技术！蝕刻剝膜檢查整个制程的相关示意图-2ITO和Metal制程仍需继续进行以下几步：ITOPatterningFlowITOPatterningGlassCleaningIR/UV/CPPRCoatingPre-BakePatternExposureDevelopingEtchingBacksidePRCoatingStrippingPost-BakeP

5、I/OrganicPatterningFlowPIPatterningGlassCleaningIR/UV/CPPRCoatingPre-BakePatternExposureDevelopingOvenMetalPatterningFlowMetalPatterningGlassCleaningIR/UV/CPPRCoatingPre-BakePatternExposureDevelopingPost-BakeEtchingStrippingProcessflow工艺流程反制程全制程Metal(已喷AG)PIITO各制程效果图(以Spark为制版

6、)主要机台和常用药液清洗设备曝光设备涂布机：分为：Roller式Slit式Spin式清和曝光机DNK曝光机限于篇幅，仅举部分实例！常用药液序号项目备注1清洗液FIisher2000-5A（环保清洗剂）Metal制程不使用2清洗液FPD-120所有制程均可使用3PRcoating使用光阻另述非常重要，品种繁多4显影使用显影液TMAH（氢氧化四甲铵）KOH（氢氧化钾）5AI蚀刻液PAE85-2-13（磷硝醋混酸）6ITO蚀刻液草酸酸性较弱，用于低温ITO7ITO蚀刻液PE-560(HCl+KCl)效果较强8ITO剥膜液NaOH/KOH序号项目备注9Me

7、tal剥膜液NMP溶液/3316剥膜液10Metal光阻残留擦拭药液丙酮11擦拭设备异丙醇/无水乙醇(98%)12清洗光阻（洗roller）/PR稀释剂PGMEA13清洗光罩超高纯电子级无水酒精（99.9%）14蚀刻SiO2BOE（NH4F/HF）常用药液：接上谢谢！