基于多功能加工平台的微细电解加工工艺

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1、第40住第6期2006年6月Vol.40No.6Jun.2006上海交通大学学报JOURNALOFSHANGHAIJIAOTONGUNIVERSITY文章编号：1006-2467(2006)06-0909-05基于多功能加工平台的微细电解加工工艺李小海】，王振龙】，赵万生2(1.哈尔滨工业大学机械工程系，哈尔滨150001；2.上海交通大学机械与动力工程学院，上海200030)摘要：利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极，在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下，利用高速获转工具电

2、极和微电流密度下电解钝化作用，实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验，研究电压、电解液浓度和进给速度等参数对加工间隙的梅响，优化工艺农数•在优化加工条件下，在厚为100pm的不锈钢薄片上微细电解钻削出065的微小孔.针对成型电极在微细加工中暴戏出的缺点，提出了利用旋转微细电极像微铳刀一样进行微细电解铳削新工艺，加工出髙精度型孔和悬臂梁等微结构.关键词：多功能平台；微细加工；电解加工；离频；脉冲电源中图分类号：TG662文献标识码：ATheElectrochemicalMicromachiningBasedonMultifunct

3、ionToolforMicromachiningLIXiao-haix♦WANGZhen-long',ZHAOWan-sheng2(LDept,ofMechanicalEng.>HarbinInst,ofTechnology,Harbin150001,China；2.SchoolofMechanicalEng.«ShanghaiJiaotongUniv.tShanghai200030)Abstract:Throughthedevelopmentofmultifunctiontool>themicroelectrodesforele

4、ctrochemicalmi*cromachining(EMM)canbefabricatedon-linebymicroelectricaldischargemachining(EDM).Underlowmachiningvoltage,lowpassivityelectrolyteconcentrationandhigh-frequencyshorl-pulsecurrent,theEMMatmicro-scalecanberealizedbyusingrotaryelectrodeandelectrolyticpassiva

5、tioneffect.ByprocessingexperimentsondrillingmicroholesbyEMM^theinfluencesofthemachiningparametersonmachininggapwereexplored.suchasmachiningvoltageandelectrolyticconcentration.Microholewith65pmdiameteronthestainlesssteelplatewith100pmthicknessisdrilledbyEMMatanoptimi

6、zedparametriccombination.Thenewprocessofelectrochemicalmillingbyrotatingmicroelectrodelikemicromillingcutterwasproposed,andmicroprofiledholeandmicrobeamwithhighprecisioncanbemilled.Keywords:multifunctiontool;micromachining;electrochemicalmachining；high-frequency；puls

7、edpowersupply电解加工从加工机理上讲是以“离子”方式去除微纳米加工领域的前景存在着想象空间n⑵•由于金属的成型工艺•这种微去除方式使得电解加工在在电解加丁时加工间隙较大•加工形状难于控制，因收稿aJW:2005-05-12基金项目：国防畢础科研资助项H(K14OOO611O2)作者简介：李小海(1970-).男•黑龙江省双鸭山市人，博士生，主要研究方向为微细加工及自动控制.E-mail：lixh519@hit.edu.cn.王振龙(联系人)•男，教授，博土生导师，电话(Tel.),0451-86416323.伺服控制卡

8、、电加路模细花短测块微火工检CCD系统微细电解加工电源示波器（a）块状电极法（b）线电极鄭削法图2在多功能微细加工机床上利用微细电火花加工微细轴制作电极Fig.2Theon-linefabricationofmicro-electrrodeonmu