玻璃蚀刻应用举例

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1、玻璃蚀刻液配方：用蚀刻法能在玻璃表面刻上文字或图案、花纹，使用简便.配方：热水12克，氧化氢钱15克，草酸8克，硫酸钱10克，甘油4克，硫酸顿15克.将上述原料与热水混合，即制得蚀刻液.配制吋注意不要把溶液溅在皮肤上，操作吋戴上口罩.把要蚀刻的玻璃洗干净，使之干燥、沮热，最后用毛笔蘸此蚀刻液，书写文字或图案于玻璃上，2分钟后蚀刻工作即完成.（范宁波）1■玻璃表面蚀刻字画的方法目前国内外通常采用的玻璃表面制作字画的方法有氯氟酸腐蚀法和橡胶制版喷砂法。氢氟酸腐蚀法是将抗氢氟酸的材料所制成的字画贴于玻璃表面，将整个玻璃放入氢氟酸中，没有贴抗腐蚀层的玻璃与氢氟酸发生化学反应受到腐蚀，贴

2、字画的玻璃表面没有腐蚀，因而凸出，一定吋间腐蚀后，字画就显在玻璃表面上，经过清水洗净，修磨即成，该方法所加工出的字画形式单一，仅有剪纸工艺的效果，由于字画将外玻璃表面均匀地腐蚀一层，腐蚀面积犬，氢氟酸耗量多，腐蚀吋间长，通常需12小时以上•此外抗氢氟酸材料所制的字画很难保证原稿的风格，字面在粘贴过程中难以做到不走样.橡胶制版喷砂法是先在纸上画好字画，再将其复制到橡胶薄片上，用人工雕岀字画，把雕好的橡胶片覆盖于玻璃表面，最后用喷抢或喷砂机喷2—4次,把橡胶片揭下后，玻璃表面留下该薄片的图案.由于橡胶制版喷砂法的图案是用刀雕岀来，所以图案的形状不可能多样化，充其量艺术效果与剪纸相同

3、.本发明的日的在于提供一种玻璃表蚀刻字画方法，可将玻璃制成具有蚀刻镀银线条与绘制色彩相配台的画面。本发明的蚀刻工序包括；1.将玻璃一面均匀地涂上一层石蜡，,2.将所拓字画反面压在玻璃的另一面，3.在玻璃及字画下面放日光灯：4.玻璃上涂石蜡一面用硬质物勾勒出字画图案，并涂抹氢氟酸腐蚀，•5.将蚀刻后的玻璃用水冲洗干净，并将玻璃上其余石蜡除去：6.用硝酸银，蒸憾水、氨水和氢氧化钠配制混合液A和由葡萄糖，蒸憾水、硝酸、酒精和酒石酸钾钠配制混合液B,按10：1的比例混合后，均匀地倒在蚀刻字画的图案的玻璃上，使玻璃上可蚀刻的相应线条镀上银层，3.在玻璃上，在镀上银层的图案线条之内外，涂抹

4、上所需色彩，4.在玻璃蚀刻面涂抹上一层保护漆，并配上框架即成。（良明摘编）光学仪器OPTICALINSTRUMENTS文章编号:1005-5630(2004)02-0151-05应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究•黄腾超，沈亦兵,陈海星，娄迪,侯西云(浙江大学现代光学仪器国家貳点实验室.浙江杭州310027)摘要：介绍了以K9玻璃为基体材料MOEMS器件的湿法刻蚀工艺.选择了光刻胶,珞,氮化硅,ITO等多种材料作为基底材料抗腐蚀的掩膜，利用多种不同成分的刻蚀剂进行了对比刻蚀试验，研究了刻蚀环境温度对保护膜的影响.对比与分析了多种试验结果并对其适用范围进行了适当的评

5、价。关键词:K9玻璃;湿法刻蚀;微光机电系统;抗腐蚀掩膜中图分类号:TQ171.1文献标识码:AResearchonK9glasswetetchingforMOEMSdevicesHUANGTen^chao,SHENCHENHarxin^,LOUDi,HOUXryun(StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China)AbstractWetetchingforMOEMSdevicesbasedonK9glasssubstrateisdemonstrat

6、ed・Severalkindsofmaterials,photoresist,Chromhim,SbN

7、ltsarealsocomparedandanalyzedtodeterminethescopeofapplicationsofdifferentetchingsolutionsandetchingmaskmateriaIs・Keywords：K9glass；wetetching;MOEMS；antrerode；mask1引言微光机电系统(micro-opto-electro-mechanicalsystems,MOEMS)由于需要光学检测,所以在很多应用场合需要采用透明材质，所以一般采用的