倾斜反射镜的驱动设计和控制研究

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1、UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCEANDTECHNOLOGYOFCHINA硕士学位论文MASTERDISSERTATION论文题目倾斜反射镜的驱动设计与控制研究皿Z亠I—一如山站41十8于FTVHL灶帀理丁匕T灶洌丄彳三指导教师李晓峰教授作者姓名闫智军学号200921250107UDCtt,学位论文倾斜反射镜的驱动设计与控制研究（题名和副题名）闫智军（作者姓名））8导教师姓名李晓峰敦授电子科技大学成都（职务、职称、学位、单位名称及地址）申请专业洋位级别.硕士■©业名称-控制理论与控制工程论文提交日

2、期2012.43。论文答辩日期学位授予单位和日期电子科技大学答辩委员会主席评阅人2012年月日注1：注明《国际卜进分类法UDC＞的类号.独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明•■••••••■1■■.••■确的说明并表不谢意。签名：目塑里日期：3）2年£月3。日

3、论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文■••••••■•--的全部或部分内容编入冇关数拯库进行检索，可以釆用影印、缩卬或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）IIABSTRACTTiltmirrorscommonlyusedinmicro-positioningsystem,whichachievesoverallcorrectionofwav

4、e-frontintheadaptiveopticssystemandisusedforfinetrackingintheATPsystemofspaceopticalcommunicationt.Tiltmirrorsbasedonmicro-positioningsystemneedtobefocusedincludinghowtoselectthedrivemodetoachieveasmallangleofdeflectionandhowtoimprovecontrolaccuracy・Solvetheabove

5、problem,onthebasisofanalysisoftheinclinedmirrorworks,tocarryouttherotationdrivetechnologybasedonpiezoelectricceramicactuatortiltmirrorandtoimprovethedrivesystemcontrolprecisiontechnologyintheclosed-loopsystemwithPIDcontrolalgorithm.Themaincontentsinelude:First,th

6、isthesisintroducesthetiltmirrorworkingprinciple,andthendesignsthepiezoelectrictiltmirrordrivenbytheoverallframework,followeddetaileddiscussionofthedesignprinciplesofeachmodule,includinginputcontrolmodule,powermodule,high-voltagepoweramplifiermoduleandsensorcircui

7、tmodule.TheinputcontrolmodulefocusesonthechoiceoftheDSPchipanditsperipheralcircuitdesign,theD/AconvertercircuitandA/Dconvertercircuit;Thepowermodulediscussesthedesignofhighvoltagepowersupplyandlowvoltagepowersupplydesign,focusesonthedesignofhighvoltagepowersupply

8、;Thehigh-voltagepowermoduleisthecoreoftheentiredrivesystem,sothehighlights,includingthechoiceofthedevice,circuitdesignandcircuitprotectionmeasures・Thesensordet